[实用新型]一种硅片清洗甩干机有效
| 申请号： | 201820562769.6 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN208062032U | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 陈忠海 | 申请（专利权）人： | 苏州德瑞姆超声科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州凯谦巨邦专利代理事务所(普通合伙) 32303 | 代理人： | 丁剑 |
| 地址： | 215600 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 上表面 硅片清洗 固定箱 甩干机 孔洞 固定架内壁 左右两侧 固定块 箱内壁 支撑板 中心处 卡块 水管 电机 半导体制备设备 本实用新型 托盘 内部固定 保护箱 电热丝 固定架 输出端 下表面 风机 水箱 硅片 烘干 清洗 | ||
1.一种硅片清洗甩干机，包括固定箱(1)，其特征在于：所述固定箱(1)的下表面固定连接有保护箱(2)，所述保护箱(2)内壁底部的中心处固定连接有支撑板(3)，所述支撑板(3)的上表面固定连接有电机(4)，所述电机(4)的输出端固定连接有托盘(5)，所述固定箱(1)内壁左右两侧的下部均固定连接有固定架(6)，所述固定架(6)内壁的上表面固定连接有卡块(17)，所述卡块(17)的上表面固定连接有固定块(7)，所述固定块(7)的一侧设置有电热丝(8)，所述固定架(6)内壁的左右两侧均设置有风机(9)，所述固定箱(1)上表面的中心处开设有孔洞，所述孔洞的内部固定连接有水管(10)，所述水管(10)的上表面固定连接有水箱(11)，所述水管(10)远离水箱(11)的一端固定连接有喷头(12)，所述托盘(5)右下角处设置有出水管(13)，所述出水管(13)上设置有第一阀门。
2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗甩干机，其特征在于：所述固定箱(1)的右下角处设置有活动门(14)。
3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗甩干机，其特征在于：所述保护箱(2)下表面的左右两侧均固定连接有滚轮(15)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗甩干机，其特征在于：所述滚轮(15)的数量为四个，且四个滚轮(15)呈矩形阵列的方式固定连接在保护箱(2)的下表面。
5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗甩干机，其特征在于：所述固定箱(1)右侧的上部固定连接有把手(16)。
6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗甩干机，其特征在于：所述水管(10)上部的外表面设置有第二阀门。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
