[实用新型]一种金属有机化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了金属化学技术领域的一种金属有机化学气相沉积设备，包括反应腔，所述反应腔的顶部左侧设有固定轴，所述固定轴的右侧设有封盖板，所述反应腔的右侧设有加热器，所述反应腔的底部两侧均设有支撑架，所述反应腔的内腔设有衬托底盘，所述衬托底盘的底部与螺纹支撑杆的顶部连接，所述螺纹支撑杆的底部连接在反应腔底部的转动扣顶部，本实用新型设计合理，解决了传统金属有机化学气相沉积通过加热器升温后，在不影响内部情况下，通常需要等待内部自身进行降温，需要等待很长的时间，会影响工作效率的问题，具有很高的实用价值。

主权项

1.一种金属有机化学气相沉积设备，包括反应腔(1)，其特征在于：所述反应腔(1)的顶部左侧设有固定轴(11)，所述固定轴(11)的右侧设有封盖板(10)，所述封盖板(10)的内腔设有多个均匀相等的通气孔(9)，所述通气孔(9)的顶部设有移动板(8)，所述反应腔(1)的右侧设有加热器(7)，所述加热器(7)的左侧底部设有热气管(6)，所述热气管(6)贯穿反应腔(1)的右侧壁，所述反应腔(1)的内腔设有衬托底盘(2)，所述衬托底盘(2)的底部连接在螺纹支撑杆(4)的顶部，所述螺纹支撑杆(4)的底部连接在反应腔(1)底部的转动扣上，且反应腔(1)的底部内腔设有与螺纹支撑杆(4)转动连接的螺纹槽，所述反应腔(1)的底部两侧均设有支撑架(3)，所述反应腔(1)的左侧设有降温箱(14)，所述反应腔(1)的内腔设有隔层(16)。