[实用新型]一种金属有机化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 201820559310.0 | 申请日： | 2018-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN208071808U | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 李晖;蒋洪石;王杰;姚陈忠;李军 | 申请（专利权）人： | 运城学院 |
| 主分类号： | C23C16/46 | 分类号： | C23C16/46;C23C16/458 |
| 代理公司： | 西安铭泽知识产权代理事务所(普通合伙) 61223 | 代理人： | 俞晓明 |
| 地址： | 044000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应腔 金属有机化学气相沉积设备 加热器 本实用新型 螺纹支撑杆 固定轴 底盘 衬托 有机化学气相沉积 影响工作效率 传统金属 底部连接 金属化学 封盖板 支撑架 内腔 转动 | ||
1.一种金属有机化学气相沉积设备，包括反应腔(1)，其特征在于：所述反应腔(1)的顶部左侧设有固定轴(11)，所述固定轴(11)的右侧设有封盖板(10)，所述封盖板(10)的内腔设有多个均匀相等的通气孔(9)，所述通气孔(9)的顶部设有移动板(8)，所述反应腔(1)的右侧设有加热器(7)，所述加热器(7)的左侧底部设有热气管(6)，所述热气管(6)贯穿反应腔(1)的右侧壁，所述反应腔(1)的内腔设有衬托底盘(2)，所述衬托底盘(2)的底部连接在螺纹支撑杆(4)的顶部，所述螺纹支撑杆(4)的底部连接在反应腔(1)底部的转动扣上，且反应腔(1)的底部内腔设有与螺纹支撑杆(4)转动连接的螺纹槽，所述反应腔(1)的底部两侧均设有支撑架(3)，所述反应腔(1)的左侧设有降温箱(14)，所述反应腔(1)的内腔设有隔层(16)。
2.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于：所述降温箱(14)的内腔设有干冰层，所述降温箱(14)的右侧设有降温管(15)，所述降温管(15)连接在隔层(16)的内腔，所述反应腔(1)的右侧底部设有流出口，所述流出口上连接有固定扣(17)。
3.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于：所述封盖板(10)的底部设有T字型卡件(12)，所述T字型卡件(12)的底部两端与固定轴(11)顶部内腔的固定槽连接。
4.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于：所述移动板(8)的底部设有卡件，且卡件与封盖板(10)顶部内腔的一体成型夹紧槽(13)滑动连接。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
