[实用新型]一种提高区熔真空泵利用率的装置

摘要

本实用新型提供了一种提高区熔真空泵利用率的装置，包括至少三台单晶炉，每台所述单晶炉出口连接管路，所述管路并联汇合至与真空泵管路连通，所述真空泵管路的另一端连接真空泵，所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接，每个所述管路上设有蝶阀，所述真空泵管路与所述真空泵之间通过第二波纹管连接，所述真空泵上还设有真空泵排气管道。本实用新型所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置，通过一台真空泵连接多台单晶炉的结构形式，以及相应的结构的变化及配合，能够节约成本，提高设备的使用率，提高工作的效率，稳定性较强，便于维护，稳定性更好。

主权项

1.一种提高区熔真空泵利用率的装置，其特征在于：包括至少三台单晶炉，每台所述单晶炉出口连接管路，所述管路并联汇合至与真空泵管路连通，所述真空泵管路的另一端连接真空泵，所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接，每个所述管路上设有蝶阀，所述真空泵管路与所述真空泵之间通过第二波纹管连接，所述真空泵上还设有真空泵排气管道。