[实用新型]一种提高区熔真空泵利用率的装置

权利要求书

1.一种提高区熔真空泵利用率的装置，其特征在于：包括至少三台单晶炉，每台所述单晶炉出口连接管路，所述管路并联汇合至与真空泵管路连通，所述真空泵管路的另一端连接真空泵，所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接，每个所述管路上设有蝶阀，所述真空泵管路与所述真空泵之间通过第二波纹管连接，所述真空泵上还设有真空泵排气管道。

2.根据权利要求1所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置，其特征在于：所述真空泵管路上设有压力传感器，所述真空泵管路上还设有停电泄气装置。

3.根据权利要求2所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置，其特征在于：所述真空泵排气管道上设有消音器，所述真空泵排气管道上还设有自动放气阀。

4.根据权利要求3所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置，其特征在于：所述真空泵包括真空罗茨泵和机械泵，两者之间通过第三波纹管连接，所述真空泵管路与所述真空罗茨泵连接，所述真空泵排气管道连接在所述机械泵上。

5.根据权利要求4所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置，其特征在于：所述真空罗茨泵和所述机械泵上分别设有电机，所述电机、所述蝶阀、所述停电泄气装置、所述自动放气阀和所述压力传感器均与控制单元电连接。