[实用新型]一种提高区熔真空泵利用率的装置

说明书

本实用新型提供了一种提高区熔真空泵利用率的装置，包括至少三台单晶炉，每台所述单晶炉出口连接管路，所述管路并联汇合至与真空泵管路连通，所述真空泵管路的另一端连接真空泵，所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接，每个所述管路上设有蝶阀，所述真空泵管路与所述真空泵之间通过第二波纹管连接，所述真空泵上还设有真空泵排气管道。本实用新型所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置，通过一台真空泵连接多台单晶炉的结构形式，以及相应的结构的变化及配合，能够节约成本，提高设备的使用率，提高工作的效率，稳定性较强，便于维护，稳定性更好。

技术领域

本实用新型属于区熔真空泵领域，尤其是涉及一种提高区熔真空泵利用率的装置。

背景技术

现目前设备都是采用每炉配一台真空泵，真空泵在大多数时间是出于空闲状态，每台炉配一台真空泵造成成本的浪费，本实用新型提出了一种提高区熔真空泵利用率的装置，通过一台真空泵连接多台单晶炉的结构形式，以及相应的结构的变化及配合，能够节约成本，提高设备的使用率，提高工作的效率，稳定性较强，便于维护，稳定性更好。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种提高区熔真空泵利用率的装置，通过一台真空泵连接多台单晶炉的结构形式，以及相应的结构的变化及配合，能够节约成本，提高设备的使用率，提高工作的效率，稳定性较强，便于维护，稳定性更好。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种提高区熔真空泵利用率的装置，包括至少三台单晶炉，每台所述单晶炉出口连接管路，所述管路并联汇合至与真空泵管路连通，所述真空泵管路的另一端连接真空泵，所述管路与所述单晶炉之间通过第一波纹管连接，每个所述管路上设有蝶阀，所述真空泵管路与所述真空泵之间通过第二波纹管连接，所述真空泵上还设有真空泵排气管道。

进一步的，所述真空泵管路上设有压力传感器，所述真空泵管路上还设有停电泄气装置。

进一步的，所述真空泵排气管道上设有消音器，所述真空泵排气管道上还设有自动放气阀。

进一步的，所述真空泵包括真空罗茨泵和机械泵，两者之间通过第三波纹管连接，所述真空泵管路与所述真空罗茨泵连接，所述真空泵排气管道连接在所述机械泵上。

进一步的，所述真空罗茨泵和所述机械泵上分别设有电机，所述电机、所述蝶阀、所述停电泄气装置、所述自动放气阀和所述压力传感器均与控制单元电连接。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置具有以下优势：

(1)本实用新型所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法，通过真空泵与单晶炉一对多的形式，以及相应的控制方法，能够提高真空泵的利用率，保证较好的使用效果，同时避免出现因抽空发生的“流熔”事故，稳定性较好，方便实用。

(2)本实用新型所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置，通过一台真空泵连接多台单晶炉的结构形式，以及相应的结构的变化及配合，能够节约成本，提高设备的使用率，提高工作的效率，稳定性较强，便于维护，稳定性更好。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置连接示意图；

图2为本实用新型实施例所述的一种提高区熔真空泵利用率的装置及方法工艺流程框图。

附图标记说明：

1-单晶炉；2-蝶阀；3-第一波纹管；4-管路；5-压力传感器；6-停电泄气装置；7-第二波纹管；8-真空泵；9-真空泵排气管道；10-真空泵管路。