[实用新型]摇摆式金属镀膜的夹具有效
| 申请号： | 201820475556.X | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN208183068U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄惠莺;张鹏 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊;林捷 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：包括呈片状的方形夹具本体和设在夹具本体上的多个圆形凹槽，所述圆形凹槽用于放置2英寸的外延片，所述圆形凹槽的旁侧设有至少一个用于夹住外延片的弹簧压片。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：可以实现摇摆式的金属镀膜，一次性蒸镀多个完整2英寸外延片，也能保证镀膜的均匀性，用弹簧片固定外延片，替代传统的高温胶带，操作简便，提高效率，另外可使得待镀产品基本位于蒸发源的正中间，也能保证镀膜的均匀性，结构简单，易于加工。 | ||
| 搜索关键词： | 外延片 金属镀膜 圆形凹槽 摇摆式 夹具 本实用新型 均匀性 镀膜 弹簧压片 方形夹具 高温胶带 夹具本体 呈片状 传统的 弹簧片 一次性 蒸发源 夹住 蒸镀 保证 替代 加工 | ||
【主权项】：
1.一种摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：包括呈片状的方形夹具本体和设在夹具本体上的多个圆形凹槽，所述圆形凹槽用于放置2英寸的外延片，所述圆形凹槽的旁侧设有至少一个用于夹住外延片的弹簧压片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建中科光芯光电科技有限公司，未经福建中科光芯光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820475556.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型二硼化钛靶材
- 下一篇：一种蒸发载片装置
- 同类专利
- 专利分类
