[实用新型]摇摆式金属镀膜的夹具

说明书

本实用新型涉及一种摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：包括呈片状的方形夹具本体和设在夹具本体上的多个圆形凹槽，所述圆形凹槽用于放置2英寸的外延片，所述圆形凹槽的旁侧设有至少一个用于夹住外延片的弹簧压片。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：可以实现摇摆式的金属镀膜，一次性蒸镀多个完整2英寸外延片，也能保证镀膜的均匀性，用弹簧片固定外延片，替代传统的高温胶带，操作简便，提高效率，另外可使得待镀产品基本位于蒸发源的正中间，也能保证镀膜的均匀性，结构简单，易于加工。

技术领域：

本实用新型涉及一种摇摆式金属镀膜的夹具。

背景技术：

光通信的发展和应用其主要得益于低损耗光纤和半导体激光器的发展和应用。半导体激光器欧姆接触采用合金系统，快速退火后电极金属和半导体材料表面发生相互融合，形成金属-半导体欧姆接触；欧姆接触越好，器件的串联电阻越低，工作时器件发热减小，对于改善器件的高温性能和可靠性具有一定的改善作用。

金属镀膜实现半导体器件的欧姆接触，形成器件电流注入的PN电极；对于半导体器件来说，金属的厚度有利于提高器件的散热能力改善器件的高温特性；因此，在考虑成本的情况下，器件金属膜厚度越均匀则器件性能的一致性越好；另一方面，金属在蒸镀过程中若与芯片表面接触不好形成空洞，则器件容易发生失效。因此，提高芯片表面金属的覆盖、改善金属膜的均匀性，是保证器件正常工作的重要因素。

发明内容：

本实用新型的目的在于提供一种摇摆式金属镀膜的夹具，该摇摆式金属镀膜的夹具结构简单、设计合理，有利于保证膜层的均匀性。

本实用新型摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：包括呈片状的方形夹具本体和设在夹具本体上的多个圆形凹槽，所述圆形凹槽用于放置2英寸的外延片，所述圆形凹槽的旁侧设有至少一个用于夹住外延片的弹簧压片。

进一步的，上述弹簧片固定在圆形凹槽旁侧的圆孔内。

进一步的，上述方形夹具本体上设有4个圆形凹槽.

进一步的，每个圆形凹槽的旁侧设有两个的弹簧压片。

进一步的，上述圆形凹槽旁侧设有四个均布的圆孔。

进一步的，上述圆形凹槽直径为51mm，凹槽深度为0.35mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：可以实现摇摆式的金属镀膜，一次性蒸镀多个完整2英寸外延片，也能保证镀膜的均匀性，用弹簧片固定外延片，替代传统的高温胶带，操作简便，提高效率，另外可使得待镀产品基本位于蒸发源的正中间，也能保证镀膜的均匀性，结构简单，易于加工。

附图说明：

图1是本实用新型方形夹具本体立体构造示意图；

图2是本实用新型安装外延片时的主视构造示意图；

图3是图1的侧视构造示意图；

图4是图2的仰视图。

具体实施方式：

下面结合实施例对本实用新型方法作进一步的详细说明。需要特别说明的是，本实用新型的保护范围应当包括但不限于本实施例所公开的技术内容。

本实用新型摇摆式金属镀膜的夹具包括呈片状的方形夹具本体1和设在夹具本体1上的多个圆形凹槽2，所述圆形凹槽2用于放置2英寸的外延片3，所述圆形凹槽的旁侧设有至少一个用于夹住外延片的弹簧压片4。外延片指LED外延片。

进一步的，为了使用方便，上述弹簧片固定在圆形凹槽旁侧的圆孔5内。

进一步的，上述方形夹具本体1上设有4个圆形凹槽2。

进一步的，每个圆形凹槽的旁侧设有两个的弹簧压片。