[实用新型]摇摆式金属镀膜的夹具有效
| 申请号： | 201820475556.X | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN208183068U | 公开（公告）日： | 2018-12-04 |
| 发明（设计）人： | 黄惠莺;张鹏 | 申请（专利权）人： | 福建中科光芯光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊;林捷 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外延片 金属镀膜 圆形凹槽 摇摆式 夹具 本实用新型 均匀性 镀膜 弹簧压片 方形夹具 高温胶带 夹具本体 呈片状 传统的 弹簧片 一次性 蒸发源 夹住 蒸镀 保证 替代 加工 | ||
【权利要求书】：
1.一种摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：包括呈片状的方形夹具本体和设在夹具本体上的多个圆形凹槽，所述圆形凹槽用于放置2英寸的外延片，所述圆形凹槽的旁侧设有至少一个用于夹住外延片的弹簧压片。
2.根据权利要求1所述的摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：所述弹簧片固定在圆形凹槽旁侧的圆孔内。
3.根据权利要求1所述的摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：所述方形夹具本体上设有4个圆形凹槽。
4.根据权利要求1所述的摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：每个圆形凹槽的旁侧设有两个的弹簧压片。
5.根据权利要求2所述的摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：所述圆形凹槽旁侧设有四个均布的圆孔。
6.根据权利要求2所述的摇摆式金属镀膜的夹具，其特征在于：所述圆形凹槽直径为51mm，凹槽深度为0.35mm。
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