[实用新型]一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置有效
| 申请号： | 201820473000.7 | 申请日： | 2018-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN208773365U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 李建银;金晨;韩彬 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创集成电路装备有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;B25B27/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 101312 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，包括架台和承载架，将靶材安装座固定在承载架上，承载架相对的一对端部分别设有旋转轴，旋转轴分别通过轴承转动支撑在架台的相对的两侧，使承载架能围绕旋转轴的轴线转动，实现将靶材安装座进行固定、翻转等动作，然后进行更换维修，代替多人进行的耗力且繁琐的工序。架台还设置有定位装置，所述定位装置配置为能与所述承载架接触或分离，以使所述承载架在自由状态和固定状态之间切换。 | ||
| 搜索关键词： | 承载架 安装座 靶材 旋转轴 架台 磁控溅射 翻转装置 定位装置配置 本实用新型 定位装置 更换维修 固定状态 轴承转动 轴线转动 自由状态 翻转 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，包括：架台；和承载架，用于承载并固定靶材安装座，所述承载架相对的其中一对端部分别设有旋转轴，所述旋转轴分别通过轴承转动支撑在所述架台的相对的两侧，使所述承载架能围绕所述旋转轴转动。
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