[实用新型]一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置

说明书

本实用新型为一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，包括架台和承载架，将靶材安装座固定在承载架上，承载架相对的一对端部分别设有旋转轴，旋转轴分别通过轴承转动支撑在架台的相对的两侧，使承载架能围绕旋转轴的轴线转动，实现将靶材安装座进行固定、翻转等动作，然后进行更换维修，代替多人进行的耗力且繁琐的工序。架台还设置有定位装置，所述定位装置配置为能与所述承载架接触或分离，以使所述承载架在自由状态和固定状态之间切换。

技术领域

本实用新型涉及工装领域，尤其涉及一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置。

背景技术

目前，真空射镀膜技术在工业领域中日益得到广泛的应用，真空磁控溅射镀膜技术以其优越的低温、高效率等特点，在真空镀膜设备中广泛采用。

连续式磁控溅射镀膜设备，以其高生产效率，自动化程度高，在镀膜领域有着广泛的使用。

真空磁控溅射镀膜设备中核心的部位是阴极溅射靶材，它是用来真空镀膜的原材料，属于耗材，需要定期维护更换，而靶材安装部位在方形腔室顶部，且靶材安装座上端面带有充气、冷却水、电源等连接装置，不便于将靶材安装座倒置放在平台上安装、拆卸、维修等工作，并且质量较大，不便于人工翻转操作。目前普遍采用车间的天车或者升降车将带有靶材的安装座悬吊在空中，移动到空旷地点，人员站在靶材安装座下进行拆卸。因靶材固定座上面带有连接接头，下端面靶材部位呈凸出结构，而且靶材属于高洁净材料，不得有磕碰及其他介质污染。所以拆卸安装过程及其繁琐，且费时费力，浪费人工，故只能在带有靶材的固定座悬在空中时进行更换维修，且需要三人同时进行工作，以防较重的靶材突然掉落。此种工作方式不仅工作繁琐，不方便，而且在持续吊装工件下存在安全隐患。

由上可知，现有技术采用人工进行拆卸更换溅射靶材的过程需要三至四人同时进行操作，并且需要在天车、液压升降车将靶材固定座吊在悬空中进行工作，不仅浪费人员，且耗时耗力，存在意外坠落的安全隐患。

公开于本实用新型背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，以解决现有技术存在的浪费人员、耗时耗力及安全隐患的问题。

本实用新型的目的是这样实现的：一种翻转装置，包括：

架台；和

承载架，用于承载并固定靶材安装座，所述承载架相对的其中一对端部分别设有旋转轴，所述旋转轴分别通过轴承转动支撑在所述架台的相对的两侧，使所述承载架能围绕所述旋转轴转动。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述架台设置有定位装置，所述定位装置配置为能与所述承载架接触或分离，以使所述承载架在自由状态和固定状态之间切换。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述定位装置包括推拉件，所述推拉件可水平滑动地设置于所述架台；所述推拉件处于推入位置时与所述承载架接触，从而阻止所述承载架转动；所述推拉件处于拉出位置时与所述承载架分离。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述推拉件的移动方向与所述旋转轴的轴线垂直。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述架台与所述旋转轴对应的一侧设置旋转驱动器，所述旋转驱动器的输出轴与所述旋转轴连接，用于驱动所述承载架转动或定位在某一角度。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述承载架设有夹具，所述夹具用于固定所述靶材安装座。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述夹具包括快速卡钳。

在本实用新型的一较佳实施方案中，所述承载架设有用于限定所述靶材安装座位置的限位件。