[实用新型]一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置

权利要求书

1.一种磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，包括：

架台；和

承载架，用于承载并固定靶材安装座，所述承载架相对的其中一对端部分别设有旋转轴，所述旋转轴分别通过轴承转动支撑在所述架台的相对的两侧，使所述承载架能围绕所述旋转轴转动。

2.如权利要求1所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述架台设置有定位装置，所述定位装置配置为能与所述承载架接触或分离，以使所述承载架在自由状态和固定状态之间切换。

3.如权利要求2所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述定位装置包括推拉件，所述推拉件可水平滑动地设置于所述架台；所述推拉件处于推入位置时与所述承载架接触，从而阻止所述承载架转动；所述推拉件处于拉出位置时与所述承载架分离。

4.如权利要求3所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述推拉件的移动方向与所述旋转轴的轴线垂直。

5.如权利要求1所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述架台与所述旋转轴对应的一侧设置旋转驱动器，所述旋转驱动器的输出轴与所述旋转轴连接，用于驱动所述承载架转动或定位在某一角度。

6.如权利要求1至5任一项所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述承载架设有夹具，所述夹具用于固定所述靶材安装座。

7.如权利要求6所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述夹具包括快速卡钳。

8.如权利要求1至5任一项所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述承载架设有用于限定所述靶材安装座位置的限位件。

9.如权利要求1至5任一项所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述架台的底部设有地脚轮。

10.如权利要求1至5任一项所述的磁控溅射的靶材安装座用翻转装置，其特征在于，所述架台的底部设有用于调节水平度的调节地脚。