[实用新型]一种气缸校准台

摘要

本实用新型公开了一种气缸校准台，包括固定支架，所述固定支架底部设置有Z向直线运动单元，Z向直线运动单元上部连接R旋转运动单元，R旋转运动单元上部连接承载台，承载台的上部穿过支撑固定架上部的圆口，所述固定支架底部在导台式气缸前后两侧对称设置有；本实用新型在结构上设计合理，本实用新型能够实现晶圆的快速定位，可以极大的提高设备的工作效率，同时可以实现大小尺寸晶圆定位时的快速切换，使该校准台的使用范围更广，而且本气缸校准台制造成本低，操作简单，本实用新型结构简单，便于安装和调试；成本低，不需要伺服电机、丝杠等传动机构，因此控制部分也相对简单；预对准过程步骤简单，效率高。

主权项

1.一种气缸校准台，包括固定支架(1)，其特征在于：所述固定支架(1)底部设置有Z向直线运动单元，Z向直线运动单元上部连接R旋转运动单元(13)，R旋转运动单元(13)上部连接承载台(2)，承载台(2)的上部穿过固定支架(1)上部的圆口，所述固定支架(1)底部在导台式气缸(12)前后两侧对称设置，所述固定支架(1)上端在圆口左右两侧对称设置有左平台气缸(7)和右平台气缸(8)，左平台气缸和右平台气缸上对应设置有左工装(5)和右工装(6)，所述固定支架(1)上端在左平台气缸(7)和右平台气缸(8)的相对处分别设置有平台气缸左限位件(9)和平台气缸右限位件(10)，所述固定支架(1)上端后侧设置有寻边单元。