[实用新型]一种气缸校准台有效

专利信息
申请号: 201820470879.X 申请日: 2018-04-02
公开(公告)号: CN208157385U 公开(公告)日: 2018-11-27
发明(设计)人: 陆敏杰;张晶 申请(专利权)人: 无锡星微科技有限公司
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 孙建;聂启新
地址: 214000 江苏省无锡市太湖国际科技*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 本实用新型 固定支架 气缸 旋转运动单元 直线运动单元 承载台 校准台 导台式气缸 支撑固定架 便于安装 对称设置 工作效率 过程步骤 晶圆定位 快速定位 快速切换 伺服电机 制造成本 校准 预对准 晶圆 丝杠 圆口 调试 穿过
【权利要求书】:

1.一种气缸校准台,包括固定支架(1),其特征在于:所述固定支架(1)底部设置有Z向直线运动单元,Z向直线运动单元上部连接R旋转运动单元(13),R旋转运动单元(13)上部连接承载台(2),承载台(2)的上部穿过固定支架(1)上部的圆口,所述固定支架(1)底部在导台式气缸(12)前后两侧对称设置,所述固定支架(1)上端在圆口左右两侧对称设置有左平台气缸(7)和右平台气缸(8),左平台气缸和右平台气缸上对应设置有左工装(5)和右工装(6),所述固定支架(1)上端在左平台气缸(7)和右平台气缸(8)的相对处分别设置有平台气缸左限位件(9)和平台气缸右限位件(10),所述固定支架(1)上端后侧设置有寻边单元。

2.根据权利要求1所述气缸校准台,其特征在于:所述Z向直线运动单元包括导台式气缸(12)和导台式气缸限位件(11),所述导台式气缸(12)设置在固定支架(1)下部,导台式气缸(12)上部设置有连接件(14),连接件(14)上部连接R旋转运动单元(13),所述导台式气缸限位件(11)对称设置在固定支架下部的导台式气缸(12)的前后两侧,导台式气缸限位件(11)的上部设置在连接件(14)侧面的限位槽内。

3.根据权利要求1所述气缸校准台,其特征在于:所述寻边单元包括直线导轨(4)、底座和安装臂,所述直线导轨(4)上部滑动连接底座,所述底座上端通过固定件(25)连接安装臂,安装臂上部前侧固定连接光电传感器(3)。

4.根据权利要求1所述气缸校准台,其特征在于:所述固定支架(1)底部右侧通过DIN导轨连接接线端子(23)和接线板(22)。

5.根据权利要求1或2所述气缸校准台,其特征在于:所述固定支架(1)底部右侧设置有电磁阀安装板(16),电磁阀安装板(16)上部分别安装有平台气缸电磁阀(18)、导台式气缸电磁阀(19)和真空破坏电磁阀(20),所述平台气缸电磁阀(18)、导台式气缸电磁阀(19)和真空破坏电磁阀(20)通过气管接头(21)和气管分别连接左平台气缸(7)、右平台气缸(8)、导台式气缸(12)、和承载台(2)。

6.根据权利要求5所述气缸校准台,其特征在于:所述固定支架(1)后部设置有数显气压表(17),数显气压表(17)的出气口通过气管接头(21)和气管分别连接平台气缸电磁阀(18)、导台式气缸电磁阀(19)和真空破坏电磁阀(20)。

7.根据权利要求6所述气缸校准台,其特征在于:所述固定支架(1)底部后侧设置有控制器(15),控制器(15)电性连接R旋转运动单元(13)、光电传感器(3)、接线端子(23)、接线板(22)、平台气缸电磁阀(18)、导台式气缸电磁阀(19)、真空破坏电磁阀(20)和数显气压表(17)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡星微科技有限公司,未经无锡星微科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820470879.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top