[实用新型]一种气缸校准台有效
| 申请号: | 201820470879.X | 申请日: | 2018-04-02 |
| 公开(公告)号: | CN208157385U | 公开(公告)日: | 2018-11-27 |
| 发明(设计)人: | 陆敏杰;张晶 | 申请(专利权)人: | 无锡星微科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 孙建;聂启新 |
| 地址: | 214000 江苏省无锡市太湖国际科技*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 本实用新型 固定支架 气缸 旋转运动单元 直线运动单元 承载台 校准台 导台式气缸 支撑固定架 便于安装 对称设置 工作效率 过程步骤 晶圆定位 快速定位 快速切换 伺服电机 制造成本 校准 预对准 晶圆 丝杠 圆口 调试 穿过 | ||
1.一种气缸校准台,包括固定支架(1),其特征在于:所述固定支架(1)底部设置有Z向直线运动单元,Z向直线运动单元上部连接R旋转运动单元(13),R旋转运动单元(13)上部连接承载台(2),承载台(2)的上部穿过固定支架(1)上部的圆口,所述固定支架(1)底部在导台式气缸(12)前后两侧对称设置,所述固定支架(1)上端在圆口左右两侧对称设置有左平台气缸(7)和右平台气缸(8),左平台气缸和右平台气缸上对应设置有左工装(5)和右工装(6),所述固定支架(1)上端在左平台气缸(7)和右平台气缸(8)的相对处分别设置有平台气缸左限位件(9)和平台气缸右限位件(10),所述固定支架(1)上端后侧设置有寻边单元。
2.根据权利要求1所述气缸校准台,其特征在于:所述Z向直线运动单元包括导台式气缸(12)和导台式气缸限位件(11),所述导台式气缸(12)设置在固定支架(1)下部,导台式气缸(12)上部设置有连接件(14),连接件(14)上部连接R旋转运动单元(13),所述导台式气缸限位件(11)对称设置在固定支架下部的导台式气缸(12)的前后两侧,导台式气缸限位件(11)的上部设置在连接件(14)侧面的限位槽内。
3.根据权利要求1所述气缸校准台,其特征在于:所述寻边单元包括直线导轨(4)、底座和安装臂,所述直线导轨(4)上部滑动连接底座,所述底座上端通过固定件(25)连接安装臂,安装臂上部前侧固定连接光电传感器(3)。
4.根据权利要求1所述气缸校准台,其特征在于:所述固定支架(1)底部右侧通过DIN导轨连接接线端子(23)和接线板(22)。
5.根据权利要求1或2所述气缸校准台,其特征在于:所述固定支架(1)底部右侧设置有电磁阀安装板(16),电磁阀安装板(16)上部分别安装有平台气缸电磁阀(18)、导台式气缸电磁阀(19)和真空破坏电磁阀(20),所述平台气缸电磁阀(18)、导台式气缸电磁阀(19)和真空破坏电磁阀(20)通过气管接头(21)和气管分别连接左平台气缸(7)、右平台气缸(8)、导台式气缸(12)、和承载台(2)。
6.根据权利要求5所述气缸校准台,其特征在于:所述固定支架(1)后部设置有数显气压表(17),数显气压表(17)的出气口通过气管接头(21)和气管分别连接平台气缸电磁阀(18)、导台式气缸电磁阀(19)和真空破坏电磁阀(20)。
7.根据权利要求6所述气缸校准台,其特征在于:所述固定支架(1)底部后侧设置有控制器(15),控制器(15)电性连接R旋转运动单元(13)、光电传感器(3)、接线端子(23)、接线板(22)、平台气缸电磁阀(18)、导台式气缸电磁阀(19)、真空破坏电磁阀(20)和数显气压表(17)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





