[实用新型]一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统有效

专利信息
申请号: 201820452021.0 申请日: 2018-04-01
公开(公告)号: CN208334905U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 石利 申请(专利权)人: 无锡旭电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 赵华
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统,包括灯源模组,驱动机构,基座,所述灯源模组设置在基座上,所述驱动机构设置在基座上,所述驱动机构安装在驱动机构旁,所述驱动机构由传动带与灯源模组连接;所述灯源模组包括紫外LED光源,移动架,所述紫外LED光源设置在移动架上,所述基座为长方形框架,包括导轨,所述导轨为长方条形,所述移动架滑动安装安装在所述基座的导轨上,此实用新型针对太阳能曝光机需要的高强度,高解析度,高效率的应用,采用大功率LED芯片配合专业开发的二次光学镜头,得到高光强的平行光源,很好的满足了太阳能硅片曝光的需求,且此套系统LED灯使用寿命长,发热量小,耗电量小。
搜索关键词: 驱动机构 灯源模组 曝光机 移动架 导轨 太阳能 紫外LED光源 专用光源 大功率LED芯片 发热量 本实用新型 长方形框架 太阳能硅片 长方条形 高解析度 光学镜头 滑动安装 平行光源 使用寿命 专业开发 传动带 高效率 耗电量 高光 曝光 配合 应用
【主权项】:
1.一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统,包括灯源模组(1),驱动机构(2),基座(3),所述灯源模组(1)设置在基座(3)上,所述驱动机构(2)设置在基座(3)上,所述驱动机构(2)安装在驱动机构(2)旁,所述驱动机构(2)由传动带与灯源模组(1)连接;其特征在于:所述灯源模组(1)包括紫外LED光源(101),移动架(102),所述移动架(102)为长方形,所述紫外LED光源(101)设置在移动架(102)上,所述紫外LED光源(101)包括大功率UVLED芯片,太阳能硅片专用二次光学镜头,所述大功率UVLED芯片设置在太阳能硅片专用二次光学镜头下方;所述基座(3)为长方形框架,包括导轨(301),所述导轨(301)为长方条形,所述移动架(102)滑动安装在所述基座(3)的导轨(301)上。
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