[实用新型]一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统有效
申请号: | 201820452021.0 | 申请日: | 2018-04-01 |
公开(公告)号: | CN208334905U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 石利 | 申请(专利权)人: | 无锡旭电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 驱动机构 灯源模组 曝光机 移动架 导轨 太阳能 紫外LED光源 专用光源 大功率LED芯片 发热量 本实用新型 长方形框架 太阳能硅片 长方条形 高解析度 光学镜头 滑动安装 平行光源 使用寿命 专业开发 传动带 高效率 耗电量 高光 曝光 配合 应用 | ||
1.一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统,包括灯源模组(1),驱动机构(2),基座(3),所述灯源模组(1)设置在基座(3)上,所述驱动机构(2)设置在基座(3)上,所述驱动机构(2)安装在驱动机构(2)旁,所述驱动机构(2)由传动带与灯源模组(1)连接;
其特征在于:所述灯源模组(1)包括紫外LED光源(101),移动架(102),所述移动架(102)为长方形,所述紫外LED光源(101)设置在移动架(102)上,所述紫外LED光源(101)包括大功率UVLED芯片,太阳能硅片专用二次光学镜头,所述大功率UVLED芯片设置在太阳能硅片专用二次光学镜头下方;
所述基座(3)为长方形框架,包括导轨(301),所述导轨(301)为长方条形,所述移动架(102)滑动安装在所述基座(3)的导轨(301)上。
2.如权利要求1所述的UVLED专用光源系统,其特征在于:所述光源系统还包括冷却装置,所述冷却装置为循环水冷装置,所说冷却装置设置在灯源模组(1)正下方,所述冷却装置随着灯源模组(1)移动。
3.如权利要求1所述的UVLED专用光源系统,其特征在于:所述太阳能硅片专用二次光学镜头为圆形,所述圆形为直径22毫米。
4.如权利要求1所述的UVLED专用光源系统,其特征在于:所述驱动机构(2)为伺服电机,所述伺服电机通过传动带带动灯源模组(1)移动。
5.如权利要求1所述的UVLED专用光源系统,其特征在于:所述基座(3)还包括近接开关,所述近接开关位置在导轨(301)上,所述近接开关设置在导轨(301)起点和终点处。
6.如权利要求5所述的UVLED专用光源系统,其特征在于:所述近接开关的数量为2个。
7.如权利要求1所述的UVLED专用光源系统,其特征在于:所述灯源模组(1)包括200-300个紫外LED光源(101)。
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