[实用新型]一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统

说明书

本实用新型公开了一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统，包括灯源模组，驱动机构，基座，所述灯源模组设置在基座上，所述驱动机构设置在基座上，所述驱动机构安装在驱动机构旁，所述驱动机构由传动带与灯源模组连接；所述灯源模组包括紫外LED光源，移动架，所述紫外LED光源设置在移动架上，所述基座为长方形框架，包括导轨，所述导轨为长方条形，所述移动架滑动安装安装在所述基座的导轨上，此实用新型针对太阳能曝光机需要的高强度，高解析度，高效率的应用，采用大功率LED芯片配合专业开发的二次光学镜头，得到高光强的平行光源，很好的满足了太阳能硅片曝光的需求，且此套系统LED灯使用寿命长，发热量小，耗电量小。

技术领域

本实用新型属于曝光机领域，尤其涉及一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统。

背景技术

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20世纪60 年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。

LED紫外线曝光机(UV LED曝光机)特点：1、LED让墨水深层固化-LED灯发出的光波长能够让墨水深层固化，因此不会发生印品表面已干但底层不干的情况。在各种介质上印刷都有很强的黏附性和抗刮划性。2、省电节能，减低成本-LED发光达到某种亮度时所消耗的能量只有15瓦左右，而传统的灯达到同样亮度要消耗1500瓦的能量，即使与UV卤素灯相比，也可节省80％的能源，因此LED灯非常节能环保。3、稳定性高-UV喷墨印刷机的印刷质量跟UV干燥固化的过程有莫大关系，LED灯的稳定性使得输出的能量是可预见的、稳定的，因此印刷效果同样是可预见的、稳定的。4、灯源系统保用 3年，使用寿命长-LED灯寿命超过2万小时。5安全性高-LED灯没有UVC射线，没有臭氧释放，也不易破损。6、更广泛的应用范围-LED灯的发光不是红外线加热，发放的热力较低，因而不会影响那些容易受热而变形的介质(像泡沫塑料板、箔膜、PVC等)在印刷过程中的传送。这样，介质的应用范围就更加广泛了。7、反应(开关)时间快-LED灯不需要预热，可以开机后立即印刷，生产力得以提高。

在申请号为：CN201310481112.9，申请日为:20131016名称为：一种新型的LED紫外曝光机光源系统的专利中，公开了一种UVLED网板曝光机，其包括：机台腔体，内设有光源组件，所述光源组件可滑移设置在所述机台腔体内，所述光源组件的上端设置出光镜面，所述出光镜面用于放置形成有电路布线图案的底片，待曝光的网板则可放置于该底片上方，所述光源组件由若干阵列设置的LED组成；机台上盖，一端枢接所述机台腔体，所述机台上盖可枢转而贴合所述机台腔体，以形成收容所述网板与所述底片的曝光空间；吸真空装置，可抽取上述曝光空间内的气体，并使所述机台上盖紧密贴合所述机台腔体, 通过采用LED阵列设置，并将该LED阵列进行滑移设置，来实现光源的照射均匀，且可避免光照不均匀可能导致的曝光图案线条宽度不一致，影响使用。

发明内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种太阳能曝光机UVLED 专用光源系统。

本实用新型的的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种太阳能曝光机UVLED专用光源系统，包括灯源模组1，驱动机构2，基座3，所述灯源模组1设置在基座3上，所述驱动机构2 设置在基座3上，所述驱动机构2安装在驱动机构2旁，所述驱动机构2由传动带与灯源模组1连接；