[实用新型]一种太阳能曝光机上框架升降机构有效
| 申请号： | 201820451979.8 | 申请日： | 2018-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN208334903U | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 石利 | 申请（专利权）人： | 无锡旭电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 赵华 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能曝光机上框架升降机构，包括上框架，升降伺服电机，导向轴，固定板，横向安装板，所述上框架为长方形框架，所述上框架两个长边分别与一个固定板连接，所述升降伺服电机和导向轴固定在横向安装板上，所述导向轴垂直安装在固定板上，所述升降伺服电机一端安装滑动轴，所述上框架包括配位组件，定位组件，所述固定板包括精密定位机构，所述定位组件与精密定位机构连接，此上框架升降机构很好的解决了太阳能硅片在上下面曝光时的重复对位精度要求，其利用精密定位机构和精密导向轴的精度控制，大幅度的提高了生产效率和产品的精度要求，非常适应太阳能行业大批量生产的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 上框架 精密定位机构 升降伺服电机 导向轴 固定板 框架升降机构 横向安装板 定位组件 精度要求 曝光 太阳能 本实用新型 长方形框架 固定板连接 太阳能硅片 太阳能行业 垂直安装 精度控制 精密导向 生产效率 升降机构 滑动轴 长边 对位 配位 重复 生产 | ||
【主权项】：
1.一种太阳能曝光机上框架升降机构，包括上框架（1），升降伺服电机（2），导向轴（3），固定板（4），横向安装板（5），其特征在于：所述上框架（1）为长方形框架，所述上框架（1）两个长边分别与一个固定板（4）连接，所述固定板（4）平行于上框架（1），所述升降伺服电机（2）固定在横向安装板（5）中心部位，所述导向轴（3）通过固定件301固定在横向安装板（5）上，所述导向轴（3）一端固定安装在固定板（4）上，所述导向轴（3）垂直安装在固定板（4），所述升降伺服电机（2）一端安装滑动轴（201），所述滑动轴（201）安装在升降伺服电机（2）远离固定板（4）的一端，所述滑动轴（201）平行于导向轴（3）；所述上框架（1）包括配位组件（101），定位组件（102），所述固定板（4）包括精密定位机构（6），所述定位组件（102）与精密定位机构（6）连接。
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