[实用新型]一种太阳能曝光机上框架升降机构

说明书

本实用新型公开了一种太阳能曝光机上框架升降机构，包括上框架，升降伺服电机，导向轴，固定板，横向安装板，所述上框架为长方形框架，所述上框架两个长边分别与一个固定板连接，所述升降伺服电机和导向轴固定在横向安装板上，所述导向轴垂直安装在固定板上，所述升降伺服电机一端安装滑动轴，所述上框架包括配位组件，定位组件，所述固定板包括精密定位机构，所述定位组件与精密定位机构连接，此上框架升降机构很好的解决了太阳能硅片在上下面曝光时的重复对位精度要求，其利用精密定位机构和精密导向轴的精度控制，大幅度的提高了生产效率和产品的精度要求，非常适应太阳能行业大批量生产的要求。

技术领域

本实用新型属于曝光机领域，尤其涉及一种太阳能曝光机上框架升降机构。

背景技术

曝光机即电子束曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备。曝光机是20 世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来，70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业。

在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。紫外线曝光机是指通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，将胶片或其他透明体上的图像信息转移到涂有感光物质的表面上的机器设备。

UV曝光机是现代制造印刷线路板PCB必不可少的设备，印制电路板制造工艺中，最关键的工序之一就是将底片图像转移到敷铜箔基材上。先在基板上涂覆一层感光材料（如液态感光胶、光敏抗蚀干膜等），然后对涂覆在基材上的光敏性物质进行光辐射，使其溶解性发生变化，未感光部分的树脂没有聚合，在显影液作用下溶解，感光部分的树脂留在基材上形成图像，这一工艺过程即是曝光，也就是印制电路板生产中由曝光机完成的工序。

为了提交工作效率，很多曝光机的曝光框均设置有三个，分别为上框组和下框组，其中下框组有两个，分别为上下框架，通过上框组与下框组的相互配合以达到最佳工作效率。工作时上框组与下框组需要交替进入曝光室内，为了相互不影响，下框组设置于上框组的下方，使用升降机构将下框组升降。

在申请号为：CN201420807256.9，申请日为:20141217，名称为：用于曝光机的台框升降机构的专利中，公开了曝光机技术领域的台框升降机构，包括方形下框组和用于固定下框组的支撑装置，所述支撑装置由结构相同且相互对称设置的左支撑装置和右支撑装置构成，该支撑装置由横向安装板、横向滑行组件、升降滑行组件、滑动气缸和用于与下框组的底部进行固定连接的连接组件构成，横向滑行组件可沿着横向安装板进行横向滑动，升降滑行组件可沿着横向安装板进行升降滑动。在下框组的底部设置有升降平台，其结构简单，由气缸带动精确移动，成本较低，能够带动下框组升降，使下框组能够升高至最佳的工作高度，以配合CCD镜头进行精准工作。

发明内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种太阳能曝光机上框架升降机构。

本实用新型的的目的可以通过以下技术方案来实现：

一种太阳能曝光机上框架升降机构，包括上框架1，升降伺服电机2，导向轴3，固定板4，横向安装板5，所述上框架1为长方形框架，所述上框架1两个长边分别与一个固定板4连接，所述固定板4平行于上框架1，所述升降伺服电机2固定在横向安装板5中心部位，所述导向轴3通过固定件301固定在横向安装板5上，所述导向轴3一端固定安装在固定板4上，所述导向轴3垂直安装在固定板4，所述升降伺服电机2一端安装滑动轴201，所述滑动轴201安装在升降伺服电机2远离固定板4的一端，所述滑动轴201平行于导向轴3；

所述上框架1包括配位组件101，定位组件102，所述固定板4包括精密定位机构6，所述定位组件102与精密定位机构6连接。