[实用新型]一种太阳能曝光机上框架升降机构有效
申请号: | 201820451979.8 | 申请日: | 2018-04-01 |
公开(公告)号: | CN208334903U | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 石利 | 申请(专利权)人: | 无锡旭电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人: | 赵华 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 上框架 精密定位机构 升降伺服电机 导向轴 固定板 框架升降机构 横向安装板 定位组件 精度要求 曝光 太阳能 本实用新型 长方形框架 固定板连接 太阳能硅片 太阳能行业 垂直安装 精度控制 精密导向 生产效率 升降机构 滑动轴 长边 对位 配位 重复 生产 | ||
1.一种太阳能曝光机上框架升降机构,包括上框架(1),升降伺服电机(2),导向轴(3),固定板(4),横向安装板(5),其特征在于:所述上框架(1)为长方形框架,所述上框架(1)两个长边分别与一个固定板(4)连接,所述固定板(4)平行于上框架(1),所述升降伺服电机(2)固定在横向安装板(5)中心部位,所述导向轴(3)通过固定件301固定在横向安装板(5)上,所述导向轴(3)一端固定安装在固定板(4)上,所述导向轴(3)垂直安装在固定板(4),所述升降伺服电机(2)一端安装滑动轴(201),所述滑动轴(201)安装在升降伺服电机(2)远离固定板(4)的一端,所述滑动轴(201)平行于导向轴(3);
所述上框架(1)包括配位组件(101),定位组件(102),所述固定板(4)包括精密定位机构(6),所述定位组件(102)与精密定位机构(6)连接。
2.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述精密定位机构(6)包括3个轴承,所述精密定位机构(6)通过3个轴承固定定位组件(102)。
3.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述精密定位机构(6)的数量为4个,所述定位组件(102)的数量为4个。
4.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述配位组件(101)的数量为8个,所述上框架(1)的每条边安装2个配位组件(101)。
5.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述导向轴(3)为圆柱体结构,所述导向轴(3)为圆管套接上下可升缩结构。
6.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述每个固定板(4)安装四个导向轴(3),所述导向轴(3)等间距的固定在固定板(4)上。
7.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述上框架升降机构包括2个升降伺服电机(2)。
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