[实用新型]一种太阳能曝光机上框架升降机构有效

专利信息
申请号: 201820451979.8 申请日: 2018-04-01
公开(公告)号: CN208334903U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 石利 申请(专利权)人: 无锡旭电科技有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 代理人: 赵华
地址: 214000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 上框架 精密定位机构 升降伺服电机 导向轴 固定板 框架升降机构 横向安装板 定位组件 精度要求 曝光 太阳能 本实用新型 长方形框架 固定板连接 太阳能硅片 太阳能行业 垂直安装 精度控制 精密导向 生产效率 升降机构 滑动轴 长边 对位 配位 重复 生产
【权利要求书】:

1.一种太阳能曝光机上框架升降机构,包括上框架(1),升降伺服电机(2),导向轴(3),固定板(4),横向安装板(5),其特征在于:所述上框架(1)为长方形框架,所述上框架(1)两个长边分别与一个固定板(4)连接,所述固定板(4)平行于上框架(1),所述升降伺服电机(2)固定在横向安装板(5)中心部位,所述导向轴(3)通过固定件301固定在横向安装板(5)上,所述导向轴(3)一端固定安装在固定板(4)上,所述导向轴(3)垂直安装在固定板(4),所述升降伺服电机(2)一端安装滑动轴(201),所述滑动轴(201)安装在升降伺服电机(2)远离固定板(4)的一端,所述滑动轴(201)平行于导向轴(3);

所述上框架(1)包括配位组件(101),定位组件(102),所述固定板(4)包括精密定位机构(6),所述定位组件(102)与精密定位机构(6)连接。

2.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述精密定位机构(6)包括3个轴承,所述精密定位机构(6)通过3个轴承固定定位组件(102)。

3.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述精密定位机构(6)的数量为4个,所述定位组件(102)的数量为4个。

4.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述配位组件(101)的数量为8个,所述上框架(1)的每条边安装2个配位组件(101)。

5.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述导向轴(3)为圆柱体结构,所述导向轴(3)为圆管套接上下可升缩结构。

6.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述每个固定板(4)安装四个导向轴(3),所述导向轴(3)等间距的固定在固定板(4)上。

7.如权利要求1所述的上框架升降机构,其特征在于:所述上框架升降机构包括2个升降伺服电机(2)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡旭电科技有限公司,未经无锡旭电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820451979.8/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top