[实用新型]一种轮毂真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201820443945.4 | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN208308946U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 傅志坚;苏良民;李峰 | 申请（专利权）人： | 青岛华磊真空镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266221 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种轮毂真空镀膜装置，其技术方案要点包括真空箱体，所述真空箱体内设置有真空腔室，所述真空腔室的内壁上竖直设置有磁控溅射靶，所述真空腔室的底部和顶部分别转动连接有上传动转盘和下传动转盘，所述上传动转盘和下传动转盘之间通过若干支撑杆连接，所述上传动转盘和下传动转盘的中心轴线上设置有呈方形的立柱，所述立柱的两侧转动连接有若干用于悬挂工件的自转挂杆，所述立柱的内部设置有联动组件，所述真空箱体的顶部设置有自转电机，所述自转电机通过所述联动组件与所述自转挂杆联动，且所述真空腔室的底部与所述下传动转盘之间设置有用于驱动所述下传动转盘转动的驱动机构，本实用新型具有镀膜均匀的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 传动转盘 真空腔室 立柱 真空镀膜装置 本实用新型 联动组件 真空箱体 转动连接 自转电机 自转挂杆 轮毂 技术方案要点 磁控溅射靶 顶部设置 内部设置 驱动机构 竖直设置 中心轴线 真空箱 支撑杆 镀膜 联动 内壁 转动 体内 驱动 悬挂 | ||
【主权项】：
1.一种轮毂真空镀膜装置，包括真空箱体(1)，所述真空箱体(1)内设置有真空腔室(2)，所述真空腔室(2)的内壁上竖直设置有若干个呈支柱状的磁控溅射靶(3)，其特征在于：所述真空腔室(2)的底部和顶部分别转动连接有上传动转盘(4)和下传动转盘(5)，所述上传动转盘(4)和下传动转盘(5)之间通过若干支撑杆(6)连接，所述上传动转盘(4)和下传动转盘(5)的中心轴线上设置有呈方形的立柱(7)，所述立柱(7)的两侧转动连接有若干用于悬挂工件的自转挂杆(8)，所述立柱(7)的内部设置有联动组件(9)，所述真空箱体(1)的顶部设置有自转电机(10)，所述自转电机(10)通过所述联动组件(9)与所述自转挂杆(8)联动，且所述真空腔室(2)的底部与所述下传动转盘(5)之间设置有用于驱动所述下传动转盘(5)转动的驱动机构(11)。
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