[实用新型]一种轮毂真空镀膜装置有效
申请号: | 201820443945.4 | 申请日: | 2018-03-29 |
公开(公告)号: | CN208308946U | 公开(公告)日: | 2019-01-01 |
发明(设计)人: | 傅志坚;苏良民;李峰 | 申请(专利权)人: | 青岛华磊真空镀膜有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266221 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传动转盘 真空腔室 立柱 真空镀膜装置 本实用新型 联动组件 真空箱体 转动连接 自转电机 自转挂杆 轮毂 技术方案要点 磁控溅射靶 顶部设置 内部设置 驱动机构 竖直设置 中心轴线 真空箱 支撑杆 镀膜 联动 内壁 转动 体内 驱动 悬挂 | ||
1.一种轮毂真空镀膜装置,包括真空箱体(1),所述真空箱体(1)内设置有真空腔室(2),所述真空腔室(2)的内壁上竖直设置有若干个呈支柱状的磁控溅射靶(3),其特征在于:所述真空腔室(2)的底部和顶部分别转动连接有上传动转盘(4)和下传动转盘(5),所述上传动转盘(4)和下传动转盘(5)之间通过若干支撑杆(6)连接,所述上传动转盘(4)和下传动转盘(5)的中心轴线上设置有呈方形的立柱(7),所述立柱(7)的两侧转动连接有若干用于悬挂工件的自转挂杆(8),所述立柱(7)的内部设置有联动组件(9),所述真空箱体(1)的顶部设置有自转电机(10),所述自转电机(10)通过所述联动组件(9)与所述自转挂杆(8)联动,且所述真空腔室(2)的底部与所述下传动转盘(5)之间设置有用于驱动所述下传动转盘(5)转动的驱动机构(11)。
2.根据权利要求1所述的一种轮毂真空镀膜装置,其特征在于:所述联动组件(9)包括若干个设置于所述立柱(7)内壁两侧且与所述自转挂杆(8)相对应的传动齿轮(15)、分别绕过所述立柱(7)内壁竖直方向两侧的传动齿轮(15)的传动链条(16)和与所述立柱(7)内壁两侧的传动齿轮(15)传动连接的伞齿部件(17),且所述伞齿部件(17)与所述自转电机(10)的输出轴固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种轮毂真空镀膜装置,其特征在于:所述伞齿部件(17)包括用于连接所述立柱(7)内壁两侧对应所述传动齿轮(15)的齿轮支架(18)、固定连接于所述齿轮支架(18)外侧的从动伞齿(19)和设置于所述从动伞齿(19)竖直方向且与所述从动伞齿(19)相啮合的主动伞齿(20),所述主动伞齿(20)与所述自转电机(10)的输出轴固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种轮毂真空镀膜装置,其特征在于:所述驱动机构(11)包括通过一转动杆(21)与所述下传动转盘(5)的下端面中心固定连接的固定齿轮(22)、水平设置于所述固定齿轮(22)一侧且与所述固定齿轮(22)相啮合的运动齿轮(23)和设置于所述真空腔室(2)底部且输出轴与所述运动齿轮(23)固定连接的公转电机(24)。
5.根据权利要求1所述的一种轮毂真空镀膜装置,其特征在于:所述自转挂杆(8)沿所述立柱(7)垂直方向呈交替分布。
6.根据权利要求5所述的一种轮毂真空镀膜装置,其特征在于:所述自转挂杆(8)朝向所述磁控溅射靶(3)的一端通过轴套固定连接有夹紧面板(13),所述工件夹紧于所述立柱(7)和夹紧面板(13)之间。
7.根据权利要求6所述的一种轮毂真空镀膜装置,其特征在于:所述夹紧面板(13)的表面沿周向设置有若干个透射孔(14)。
8.根据权利要求1所述的一种轮毂真空镀膜装置,其特征在于:所述立柱(7)的下端固定连接有与所述下传动转盘(5)的上端面相抵接的金属垫片(12)。
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