[实用新型]溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201820443694.X | 申请日： | 2018-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN208308945U | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 傅志坚;苏良民;李峰 | 申请（专利权）人： | 青岛华磊真空镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266221 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射镀膜设备，其技术方案要点包括柜体、开设于所述柜体内的真空室、固定于所述真空室中部位置的阴极柱、间隔设置于所述阴极柱外壁周侧的若干立柱，所述立柱的外壁上沿其长度方向套设有放置架，所述柜体位于真空室下方设置有驱动室，所述立柱的一端穿过真空室底面位于驱动室内套接有转动齿轮，所述驱动室内设置有驱动齿轮，所述转动齿轮均与驱动齿轮啮合且驱动齿轮穿过驱动室底面位于柜体底部连接有驱动电机，本实用新型具有提升待镀工件的镀膜效果的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 驱动齿轮 柜体 立柱 溅射镀膜设备 本实用新型 转动齿轮 驱动室 底面 穿过 啮合 室内 技术方案要点 阴极柱外壁 驱动 待镀工件 底部连接 镀膜效果 间隔设置 驱动电机 中部位置 放置架 阴极柱 套接 外壁 体内 | ||
【主权项】：
1.一种溅射镀膜设备，包括柜体（1）、开设于所述柜体（1）内的真空室（2）、固定于所述真空室（2）中部位置的阴极柱（3）、间隔设置于所述阴极柱（3）外壁周侧的若干立柱（4），所述立柱（4）的外壁上沿其长度方向套设有放置架（41），其特征在于：所述柜体（1）位于真空室（2）下方设置有驱动室（5），所述立柱（4）的一端穿过真空室（2）底面位于驱动室（5）内套接有转动齿轮（51），所述驱动室（5）内设置有驱动齿轮（52），所述转动齿轮（51）均与驱动齿轮（52）啮合且驱动齿轮（52）穿过驱动室（5）底面位于柜体（1）底部连接有驱动电机（6）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于青岛华磊真空镀膜有限公司，未经青岛华磊真空镀膜有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820443694.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种溅射腔室及物理气相沉积设备
- 下一篇：一种轮毂真空镀膜装置
- 同类专利
- 专利分类
