[实用新型]溅射镀膜设备

权利要求书

1.一种溅射镀膜设备，包括柜体（1）、开设于所述柜体（1）内的真空室（2）、固定于所述真空室（2）中部位置的阴极柱（3）、间隔设置于所述阴极柱（3）外壁周侧的若干立柱（4），所述立柱（4）的外壁上沿其长度方向套设有放置架（41），其特征在于：所述柜体（1）位于真空室（2）下方设置有驱动室（5），所述立柱（4）的一端穿过真空室（2）底面位于驱动室（5）内套接有转动齿轮（51），所述驱动室（5）内设置有驱动齿轮（52），所述转动齿轮（51）均与驱动齿轮（52）啮合且驱动齿轮（52）穿过驱动室（5）底面位于柜体（1）底部连接有驱动电机（6）。

2.根据权利要求1所述的溅射镀膜设备，其特征在于：所述若干立柱（4）位于阴极柱（3）外部等间隔周向设置。

3.根据权利要求2所述的溅射镀膜设备，其特征在于：所述真空室（2）底面固定有环形支架（23），所述环形支架（23）上开设有供所述若干立柱（4）穿过的限位孔（25）。

4.根据权利要求3所述的溅射镀膜设备，其特征在于：所处限位孔（25）内壁上径向开设有滑移槽（26），所述滑移槽（26）内设置有若干滚珠（27）。

5.根据权利要求1所述的溅射镀膜设备，其特征在于：所述放置架（41）包括套设于立柱（4）上的水平板（42）以及位于水平板（42）侧周壁上径向延伸的若干悬挂架（43），所述悬挂架（43）的中部设置有若干向下呈V型放置部（48）。

6.根据权利要求5所述的溅射镀膜设备，其特征在于：所述悬挂架（43）远离立柱（4）的一端设置有弯折部（49），所述弯折部（49）的弯折方向上设置且朝向立柱（4）一侧延伸。

7.根据权利要求5所述的溅射镀膜设备，其特征在于：所述水平板（42）的中部开设有穿孔（44）且水平板（42）的上表面与下表面位于穿孔（44）边缘的周面竖直延伸有套接部（45），所述套接部（45）穿过滑移于立柱（4）外壁且位于套接部（45）的侧壁上开设有固定孔（46）与固定螺栓（47）。

8.根据权利要求1所述的溅射镀膜设备，其特征在于：所述柜体（1）内部的真空室（2）侧壁呈圆柱状开设。