[实用新型]一种旋转靶靶材分节绑定装置有效
| 申请号： | 201820426315.6 | 申请日： | 2018-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN208104530U | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 陈明恒;文锋 | 申请（专利权）人： | 东莞市欧莱溅射靶材有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人： | 林晓宏 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种旋转靶靶材分节绑定装置，包括用于定位及安装背管的移动定位器、外加热装置、移动导杆和内加热装置，背管的下部插设于移动定位器中，移动导杆插入在背管中，内加热装置固定在移动导杆的上部，且背管的下部定位固定于移动定位器；外加热装置和内加热装置的相对位置保持不变，以实现在背管的外缘形成一连结下一节金属层的浇铸空间，以实现使依次成型在背管的表面的相邻两节金属层连结成一体。本实用新型能够生产任意长度的背管成型金属层，根据金属层的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，使用相当方便。 | ||
| 搜索关键词： | 背管 内加热装置 移动定位器 移动导杆 金属层 本实用新型 外加热装置 绑定装置 旋转靶 靶材 分节 焊合 成型金属 定位固定 灵活调整 位置保持 形变 绑定 插设 两节 浇铸 成型 连结 生产 | ||
【主权项】：
1.一种旋转靶靶材分节绑定装置，其特征在于：包括用于定位及竖直安装背管(1)的移动定位器(7)、外加热装置(3)、移动导杆(6)和内加热装置(5)，背管(1)的下部插设于移动定位器(7)中，且背管(1)的下部定位固定于移动定位器(7)；内加热装置(5)固定在移动导杆(6)的上部，内加热装置(5)及移动导杆(6)的上部活动插设于背管(1)的内腔中，以实现通过移动导杆(6)及内加热装置(5)相对背管(1)移动而改变内加热装置(5)相对背管(1)的位置；背管(1)的外缘活动套设有外加热装置(3)，外加热装置(3)的上端部开设有浇口(2)，在背管(1)和外加热装置(3)之间形成一用于浇铸并形成金属层(8)的浇铸空间，以实现浇铸形成的金属层(8)固定在该背管(1)的外表面；在外加热装置(3)和内加热装置(5)每次相对背管(1)向上移动设定距离的过程中，外加热装置(3)和内加热装置(5)的相对位置保持不变，以实现在背管(1)的外缘形成一连结下一节金属层(8)的浇铸空间，以实现使依次成型在背管(1)的表面的相邻两节金属层(8)连结成一体。
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