[实用新型]一种旋转靶靶材分节绑定装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转靶靶材分节绑定装置，包括用于定位及安装背管的移动定位器、外加热装置、移动导杆和内加热装置，背管的下部插设于移动定位器中，移动导杆插入在背管中，内加热装置固定在移动导杆的上部，且背管的下部定位固定于移动定位器；外加热装置和内加热装置的相对位置保持不变，以实现在背管的外缘形成一连结下一节金属层的浇铸空间，以实现使依次成型在背管的表面的相邻两节金属层连结成一体。本实用新型能够生产任意长度的背管成型金属层，根据金属层的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，使用相当方便。

技术领域

本实用新型涉及靶材成型加工领域，特别是一种提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变的一种旋转靶靶材分节绑定装置。

背景技术

磁控溅射广泛应用，推动了靶材产品的丰富发展，很多靶材的性质决定了不能直接使用，需要背管与靶材绑定，来满足生产设备的安装及导电、散热要求。因此，靶材与背管的绑定技术就成为了关键技术，直接影响靶材的正常使用。

旋转靶与背管之间的绑定是整个环形面的接触焊合，很容易产生气泡、疏松，使得背管效能降低甚至脱落。旋转靶长度越长，越难绑定，绑定焊合率越低。有些靶材绑定过长时还会发生变形。

旋转靶与背管之间的接触面为曲面，与平面靶不同，旋转靶的绑定，一般以旋转靶和背管为模具，将绑定材料溶化后进行浇铸。绑定原理与铸造管材类似，管壁越薄，长度越长，浇铸的均匀性越难控制。对于一些靶材，绑定的温度也收到限制。为了解决绑定长度过长造成的绑定不均匀、焊合率低，本实用新型提出了分节绑定的方案。本方案可根据靶材材质灵活调整，适用于任意长度的旋转靶，通用性好。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变的旋转靶分节绑定装置，通用性高。

本实用新型解决其技术问题所采用技术方案是：一种旋转靶靶材分节绑定装置，包括用于定位及竖直安装背管的移动定位器、外加热装置、移动导杆和内加热装置，背管的下部插设于移动定位器中，且背管的下部定位固定于移动定位器；

内加热装置固定在移动导杆的上部，内加热装置及移动导杆的上部活动插设于背管的内腔中，以实现通过移动导杆及内加热装置相对背管移动而改变内加热装置相对背管的位置；背管的外缘活动套设有外加热装置，外加热装置的上端部开设有浇口，在背管和外加热装置之间形成一用于浇铸并形成靶材的浇铸空间，以实现浇铸形成的靶材固定在该背管的外表面；

在外加热装置和内加热装置每次相对背管向上移动设定距离的过程中，外加热装置和内加热装置的相对位置保持不变，以实现在背管的外缘形成一连结下一节靶材的浇铸空间，以实现使依次成型在背管的表面的相邻两节靶材连结成一体。

优选的，所述移动定位器设置有圆环形的定位器和驱动机构，驱动机构连接定位器，背管的下部插设并固定于定位器，以实现驱动背管相对外加热装置或内加热装置上下移动。

优选的，所述背管的外缘设置有定位架，外加热装置固定于定位架，外加热装置相对内加热装置的位置保持不变。

优选的，所述外加热装置的长度为所述背管的1/n，n为自然数，1≤n≤20。

优选的，所述移动定位器设置有震动装置。

优选的，所述移动导杆的下部连接有用于驱动移动导杆上下移动的升降机构，以实现驱动移动导杆插入背管或从背管中移出。

本实用新型的有益效果是：本实用新型能够生产任意长度的背管成型靶材，结构简单，减少加热元件及各种检测元件的配置数量，根据靶材的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，能够生产不同规格长度的旋转靶，设备通用性强，使用方便。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；