[实用新型]一种旋转靶靶材分节绑定装置有效

专利信息
申请号: 201820426315.6 申请日: 2018-03-28
公开(公告)号: CN208104530U 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: 陈明恒;文锋 申请(专利权)人: 东莞市欧莱溅射靶材有限公司
主分类号: C23C14/34 分类号: C23C14/34;C23C14/35
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 林晓宏
地址: 523000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 背管 内加热装置 移动定位器 移动导杆 金属层 本实用新型 外加热装置 绑定装置 旋转靶 靶材 分节 焊合 成型金属 定位固定 灵活调整 位置保持 形变 绑定 插设 两节 浇铸 成型 连结 生产
【权利要求书】:

1.一种旋转靶靶材分节绑定装置,其特征在于:包括用于定位及竖直安装背管(1)的移动定位器(7)、外加热装置(3)、移动导杆(6)和内加热装置(5),

背管(1)的下部插设于移动定位器(7)中,且背管(1)的下部定位固定于移动定位器(7);

内加热装置(5)固定在移动导杆(6)的上部,内加热装置(5)及移动导杆(6)的上部活动插设于背管(1)的内腔中,以实现通过移动导杆(6)及内加热装置(5)相对背管(1)移动而改变内加热装置(5)相对背管(1)的位置;

背管(1)的外缘活动套设有外加热装置(3),外加热装置(3)的上端部开设有浇口(2),在背管(1)和外加热装置(3)之间形成一用于浇铸并形成金属层(8)的浇铸空间,以实现浇铸形成的金属层(8)固定在该背管(1)的外表面;

在外加热装置(3)和内加热装置(5)每次相对背管(1)向上移动设定距离的过程中,外加热装置(3)和内加热装置(5)的相对位置保持不变,以实现在背管(1)的外缘形成一连结下一节金属层(8)的浇铸空间,以实现使依次成型在背管(1)的表面的相邻两节金属层(8)连结成一体。

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置,其特征在于:所述移动定位器(7)设置有圆环形的定位器和驱动机构,驱动机构连接定位器,背管(1)的下部插设并固定于定位器,以实现驱动背管(1)相对外加热装置(3)或内加热装置(5)上下移动。

3.根据权利要求1所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置,其特征在于:所述背管(1)的外缘设置有定位架,外加热装置(3)固定于定位架,外加热装置(3)相对内加热装置(5)的位置保持不变。

4.根据权利要求1所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置,其特征在于:所述外加热装置(3)的长度为所述背管(1)的1/n,n为自然数,1≤n≤20。

5.根据权利要求1至4之一所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置,其特征在于:所述移动导杆(6)的上部固定连接内加热装置(5),移动导杆(6)的下部伸出在所述背管(1)的下方,在浇铸过程中移动导杆(6)相对背管(1)向内移动。

6.根据权利要求5所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置,其特征在于:所述移动导杆(6)为中空的钢管,内加热装置(5)为中空的筒状体,筒状体内安装有发热元件。

7.根据权利要求5所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置,其特征在于:所述移动定位器(7)设置有震动装置。

8.根据权利要求5所述的一种旋转靶靶材分节绑定装置,其特征在于:所述移动导杆(6)的下部连接有用于驱动移动导杆(6)上下移动的升降机构,以实现驱动移动导杆(6)插入背管(1)或从背管(1)中移出。

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