[实用新型]一种用于镀膜的真空蒸发装置有效
申请号: | 201820421892.6 | 申请日: | 2018-03-27 |
公开(公告)号: | CN208791736U | 公开(公告)日: | 2019-04-26 |
发明(设计)人: | 颜见锋 | 申请(专利权)人: | 苏州市唯嘉光学有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黄冠华 |
地址: | 215107 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于镀膜的真空蒸发装置,包括蒸发室、镀膜室、真空泵、循环泵和蒸发液进口,所述蒸发室上设置有蒸发液进口,所述蒸发室内设置有蒸发板,所述蒸发室的右侧设置有蒸汽喷嘴,所述蒸发室连接真空泵,所述镀膜室内设置有支架,所述支架上设置有光学玻璃,所述支架的上方喷气管,所述喷气管连接蒸汽喷嘴,所述循环泵的一端连接蒸发液进口、另一端连接镀膜室的底部,所述镀膜室上连接有冷凝器。本实用新型所提供的一种用于镀膜的真空蒸发装置,喷气管上均匀的设置有喷气孔,喷气孔的直径从左向右依次递加,喷气能够均匀的向光学玻璃上喷气,使光学能够均匀的镀膜,从而控制好镀膜的阻值。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 蒸发室 真空蒸发装置 镀膜室 喷气管 蒸发液 光学玻璃 支架 本实用新型 一端连接 蒸汽喷嘴 喷气孔 循环泵 真空泵 进口 室内 冷凝器 蒸发板 蒸发 | ||
【主权项】:
1.一种用于镀膜的真空蒸发装置,其特征在于,包括蒸发室、镀膜室、真空泵、循环泵和蒸发液进口,所述蒸发室上设置有蒸发液进口,所述蒸发室内设置有蒸发板,所述蒸发室的右侧设置有蒸汽喷嘴,所述蒸发室连接真空泵,所述镀膜室内设置有支架,所述支架上设置有光学玻璃,所述支架的上方喷气管,所述喷气管连接蒸汽喷嘴,所述循环泵的一端连接蒸发液进口、另一端连接镀膜室的底部,所述镀膜室上连接有冷凝器。
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