[实用新型]一种用于镀膜的真空蒸发装置有效

专利信息
申请号: 201820421892.6 申请日: 2018-03-27
公开(公告)号: CN208791736U 公开(公告)日: 2019-04-26
发明(设计)人: 颜见锋 申请(专利权)人: 苏州市唯嘉光学有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 代理人: 黄冠华
地址: 215107 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种用于镀膜的真空蒸发装置,包括蒸发室、镀膜室、真空泵、循环泵和蒸发液进口,所述蒸发室上设置有蒸发液进口,所述蒸发室内设置有蒸发板,所述蒸发室的右侧设置有蒸汽喷嘴,所述蒸发室连接真空泵,所述镀膜室内设置有支架,所述支架上设置有光学玻璃,所述支架的上方喷气管,所述喷气管连接蒸汽喷嘴,所述循环泵的一端连接蒸发液进口、另一端连接镀膜室的底部,所述镀膜室上连接有冷凝器。本实用新型所提供的一种用于镀膜的真空蒸发装置,喷气管上均匀的设置有喷气孔,喷气孔的直径从左向右依次递加,喷气能够均匀的向光学玻璃上喷气,使光学能够均匀的镀膜,从而控制好镀膜的阻值。
搜索关键词: 镀膜 蒸发室 真空蒸发装置 镀膜室 喷气管 蒸发液 光学玻璃 支架 本实用新型 一端连接 蒸汽喷嘴 喷气孔 循环泵 真空泵 进口 室内 冷凝器 蒸发板 蒸发
【主权项】:
1.一种用于镀膜的真空蒸发装置,其特征在于,包括蒸发室、镀膜室、真空泵、循环泵和蒸发液进口,所述蒸发室上设置有蒸发液进口,所述蒸发室内设置有蒸发板,所述蒸发室的右侧设置有蒸汽喷嘴,所述蒸发室连接真空泵,所述镀膜室内设置有支架,所述支架上设置有光学玻璃,所述支架的上方喷气管,所述喷气管连接蒸汽喷嘴,所述循环泵的一端连接蒸发液进口、另一端连接镀膜室的底部,所述镀膜室上连接有冷凝器。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州市唯嘉光学有限公司,未经苏州市唯嘉光学有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201820421892.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top