[实用新型]一种用于镀膜的真空蒸发装置有效
| 申请号： | 201820421892.6 | 申请日： | 2018-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN208791736U | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 颜见锋 | 申请（专利权）人： | 苏州市唯嘉光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 黄冠华 |
| 地址： | 215107 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 蒸发室 真空蒸发装置 镀膜室 喷气管 蒸发液 光学玻璃 支架 本实用新型 一端连接 蒸汽喷嘴 喷气孔 循环泵 真空泵 进口 室内 冷凝器 蒸发板 蒸发 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于镀膜的真空蒸发装置，其特征在于，包括蒸发室、镀膜室、真空泵、循环泵和蒸发液进口，所述蒸发室上设置有蒸发液进口，所述蒸发室内设置有蒸发板，所述蒸发室的右侧设置有蒸汽喷嘴，所述蒸发室连接真空泵，所述镀膜室内设置有支架，所述支架上设置有光学玻璃，所述支架的上方喷气管，所述喷气管连接蒸汽喷嘴，所述循环泵的一端连接蒸发液进口、另一端连接镀膜室的底部，所述镀膜室上连接有冷凝器。
2.根据权利要求1所述的用于镀膜的真空蒸发装置，其特征在于，所述光学玻璃之间设置有烘烤装置。
3.根据权利要求1所述的用于镀膜的真空蒸发装置，其特征在于，所述喷气管上均匀的设置有喷气孔，所述喷气孔的直径从左向右依次递加。
4.根据权利要求1所述的用于镀膜的真空蒸发装置，其特征在于，所述镀膜室的外侧设置有保温装置。
5.根据权利要求1所述的用于镀膜的真空蒸发装置，其特征在于，所述蒸发板的两侧设置有通电电极。
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