[实用新型]一种晶圆测试装置有效
| 申请号： | 201820406482.4 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN207992391U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 曹孙根 | 申请（专利权）人： | 安徽钜芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 吴栋杰 |
| 地址： | 247100 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆测试装置，包括Y轴基座、Y轴导轨滑块机构、Y轴滚珠丝杠副机构、Z轴运动机构、工作台底板、Z轴转动机构、X轴基座、X轴滚轴丝杆副机构、X轴导轨滑块机构、Y轴驱动伺服电机、X轴驱动伺服电机、顶针升降控制机构、顶针、测试台、CCD摄像头。本实用新型实现晶圆在测试台上进行自动对准、定位、测试，不仅提高工作效率，降低晶圆在转移过程中破损的可能性，而且减少对晶圆的污染，提高晶圆工作的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 顶针 本实用新型 测试装置 滑块机构 伺服电机 副机构 种晶 升降控制机构 工作台底板 测试 工作效率 滚轴丝杆 自动对准 测试台 破损 污染 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆测试装置，其特征在于：包括Y轴基座、Y轴导轨滑块机构、Y轴滚珠丝杠副机构、Z轴运动机构、工作台底板、Z轴转动机构、X轴基座、X轴滚轴丝杆副机构、X轴导轨滑块机构、Y轴驱动伺服电机、X轴驱动伺服电机、顶针升降控制机构、顶针、测试台、CCD摄像头；Y轴导轨滑块机构固定安装在Y轴基座的两端，Y轴滚珠丝杠副机构安装在两个Y轴导轨滑块机构之间并固定在Y轴基座上，Y轴驱动伺服电机通过联轴器与Y轴滚珠丝杠副机构相连；X轴基座分别与Y轴导轨滑块机构、Y轴滚珠丝杠副机构活动连接，X轴基座的两端分别安装有X轴导轨滑块机构，X轴滚轴丝杆副机构安装在两个X轴导轨滑块机构之间并固定在X轴基座上，X轴驱动伺服电机通过联轴器与X轴滚轴丝杆副机构相连；工作台底板与X轴滚轴丝杆副机构、X轴导轨滑块机构活动连接，工作台底板上固定安装有Z轴运动机构、Z轴转动机构、顶针升降控制机构；测试台安装在顶针升降控制机构顶部，顶针安装在测试台上，CCD摄像头通过支架安装在测试台的上方。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽钜芯半导体科技有限公司，未经安徽钜芯半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201820406482.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种QFP64封装的轴角转换芯片检测装置
- 下一篇：一种电路板测试装置
