[实用新型]一种晶圆测试装置

说明书

本实用新型提供一种晶圆测试装置，包括Y轴基座、Y轴导轨滑块机构、Y轴滚珠丝杠副机构、Z轴运动机构、工作台底板、Z轴转动机构、X轴基座、X轴滚轴丝杆副机构、X轴导轨滑块机构、Y轴驱动伺服电机、X轴驱动伺服电机、顶针升降控制机构、顶针、测试台、CCD摄像头。本实用新型实现晶圆在测试台上进行自动对准、定位、测试，不仅提高工作效率，降低晶圆在转移过程中破损的可能性，而且减少对晶圆的污染，提高晶圆工作的可靠性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种晶圆测试装置。

背景技术

近年来半导体行业的发展，晶圆作为半导体器件的基础材料，应用越来越广泛。晶圆测试是芯片制造及封装过程中所必不可少的。晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备，与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。

由于晶圆很薄(0.3-0.87WM)，直径较大(4-18/inch)，且质地很脆，极其容易破碎；而且晶圆的抛光面极易受污染和磨损。在测试过程中，传统手工对晶圆进行对准、定位、测试，不仅工作效率较低，而且晶圆在转移过程中破损的可能性较大，容易对晶圆的污染，降低了晶圆工作的可靠性。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

本实用新型针对上述手工处理晶圆传输的缺陷问题，提供了一种晶圆测试装置，晶圆在测试台上进行自动对准、定位、测试，不仅提高工作效率，降低晶圆在转移过程中破损的可能性，而且减少对晶圆的污染，提高晶圆工作的可靠性。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种晶圆测试装置，包括Y轴基座、Y轴导轨滑块机构、Y轴滚珠丝杠副机构、Z轴运动机构、工作台底板、Z轴转动机构、X轴基座、X轴滚轴丝杆副机构、X轴导轨滑块机构、Y轴驱动伺服电机、X轴驱动伺服电机、顶针升降控制机构、顶针、测试台、CCD摄像头；Y轴导轨滑块机构固定安装在Y轴基座的两端，Y轴滚珠丝杠副机构安装在两个Y轴导轨滑块机构之间并固定在Y轴基座上，Y轴驱动伺服电机通过联轴器与Y轴滚珠丝杠副机构相连；X轴基座分别与Y轴导轨滑块机构、Y轴滚珠丝杠副机构活动连接，X轴基座的两端分别安装有X轴导轨滑块机构，X轴滚轴丝杆副机构安装在两个X轴导轨滑块机构之间并固定在X轴基座上，X轴驱动伺服电机通过联轴器与X轴滚轴丝杆副机构相连；工作台底板与X轴滚轴丝杆副机构、X轴导轨滑块机构活动连接，工作台底板上固定安装有Z轴运动机构、Z轴转动机构、顶针升降控制机构；测试台安装在顶针升降控制机构顶部，顶针安装在测试台，CCD摄像头通过支架安装在测试台的上方。

根据本实用新型的一实施例，所述X轴驱动伺服电机、Y轴驱动伺服电机为3273N126E21型号伺服电机。

根据本实用新型的一实施例，所述Z轴运动机构包括支撑轴、滚珠丝杠副、连接固定板、从动轮、同步齿形带、主动轮、电机；电机与主动轮连接并带动主动轮转动，主动轮通过同步齿形带与从动轮连接，从动轮通过连接固定板与滚珠丝杠副相连，滚珠丝杠副与支撑轴固定连接。

根据本实用新型的一实施例，所述电机为PH566H-A-A30型号步进电机。

根据本实用新型的一实施例，所述Z轴转动机构包括固定底板、转动轴、圆弧配合转动机构、导轨滑块机构、丝杆螺母机构、电机；电机与丝杆螺母机构固定连接，丝杆螺母机构通过导轨滑块机构与圆弧配合转动机构相连，圆弧配合转动机构与转动轴活动连接，转动轴固定安装在固定底板上。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果：一种晶圆测试装置，晶圆在测试台上进行自动对准、定位、测试，不仅提高工作效率，降低晶圆在转移过程中破损的可能性，而且减少对晶圆的污染，提高晶圆工作的可靠性。

附图说明