[实用新型]一种晶圆测试装置有效
| 申请号： | 201820406482.4 | 申请日： | 2018-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN207992391U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 曹孙根 | 申请（专利权）人： | 安徽钜芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 合肥中博知信知识产权代理有限公司 34142 | 代理人： | 吴栋杰 |
| 地址： | 247100 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶圆 顶针 本实用新型 测试装置 滑块机构 伺服电机 副机构 种晶 升降控制机构 工作台底板 测试 工作效率 滚轴丝杆 自动对准 测试台 破损 污染 | ||
1.一种晶圆测试装置，其特征在于：包括Y轴基座、Y轴导轨滑块机构、Y轴滚珠丝杠副机构、Z轴运动机构、工作台底板、Z轴转动机构、X轴基座、X轴滚轴丝杆副机构、X轴导轨滑块机构、Y轴驱动伺服电机、X轴驱动伺服电机、顶针升降控制机构、顶针、测试台、CCD摄像头；Y轴导轨滑块机构固定安装在Y轴基座的两端，Y轴滚珠丝杠副机构安装在两个Y轴导轨滑块机构之间并固定在Y轴基座上，Y轴驱动伺服电机通过联轴器与Y轴滚珠丝杠副机构相连；X轴基座分别与Y轴导轨滑块机构、Y轴滚珠丝杠副机构活动连接，X轴基座的两端分别安装有X轴导轨滑块机构，X轴滚轴丝杆副机构安装在两个X轴导轨滑块机构之间并固定在X轴基座上，X轴驱动伺服电机通过联轴器与X轴滚轴丝杆副机构相连；工作台底板与X轴滚轴丝杆副机构、X轴导轨滑块机构活动连接，工作台底板上固定安装有Z轴运动机构、Z轴转动机构、顶针升降控制机构；测试台安装在顶针升降控制机构顶部，顶针安装在测试台上，CCD摄像头通过支架安装在测试台的上方。
2.如权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述X轴驱动伺服电机、Y轴驱动伺服电机为3273N126E21型号伺服电机。
3.如权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述Z轴运动机构包括支撑轴、滚珠丝杠副、连接固定板、从动轮、同步齿形带、主动轮、电机；电机与主动轮连接并带动主动轮转动，主动轮通过同步齿形带与从动轮连接，从动轮通过连接固定板与滚珠丝杠副相连，滚珠丝杠副与支撑轴固定连接。
4.如权利要求3所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述电机为PH566H-A-A30型号步进电机。
5.如权利要求1所述的一种晶圆测试装置，其特征在于，所述Z轴转动机构包括固定底板、转动轴、圆弧配合转动机构、导轨滑块机构、丝杆螺母机构、电机；电机与丝杆螺母机构固定连接，丝杆螺母机构通过导轨滑块机构与圆弧配合转动机构相连，圆弧配合转动机构与转动轴活动连接，转动轴固定安装在固定底板上。
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