[实用新型]用于柔性基板的光学自动检测装置

摘要

本实用新型公开了一种用于柔性基板的光学自动检测装置，该光学自动检测装置包括：气动平台、夹持机构和多个检测件，气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个出气口的上方；夹持机构适于夹持柔性基板并沿气动平台的长度方向可移动；多个检测件分别位于气动平台的上方和下方，上方的检测件用于直接对柔性基板的上表面检测，下方的检测件用于透过开槽对柔性基板的下表面检测；其中，开槽为非线形，且在气动平台的宽度方向上至少一个出气口与开槽相对。由此，既实现双面检查提高产能，避免翻转柔性基板，同时又可以保证柔性基板边缘通过开槽时不会因为开槽处没有气浮力而卷曲。

主权项

1.一种用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，包括：气动平台，所述气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，所述气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个所述出气口的上方；夹持机构，所述夹持机构适于夹持所述柔性基板并沿所述气动平台的长度方向可移动；和多个检测件，所述多个检测件分别位于所述气动平台的上方和下方，上方的所述检测件用于直接对所述柔性基板的上表面检测，下方的所述检测件用于透过所述开槽对所述柔性基板的下表面检测；其中，所述开槽为非线形，且在所述气动平台的宽度方向上至少一个出气口与所述开槽相对。