[实用新型]用于柔性基板的光学自动检测装置

权利要求书

1.一种用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，包括：

气动平台，所述气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，所述气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个所述出气口的上方；

夹持机构，所述夹持机构适于夹持所述柔性基板并沿所述气动平台的长度方向可移动；和

多个检测件，所述多个检测件分别位于所述气动平台的上方和下方，上方的所述检测件用于直接对所述柔性基板的上表面检测，下方的所述检测件用于透过所述开槽对所述柔性基板的下表面检测；

其中，所述开槽为非线形，且在所述气动平台的宽度方向上至少一个出气口与所述开槽相对。

2.根据权利要求1所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，位于所述开槽的两侧中的每一侧的、与所述开槽在宽度方向上相对的出气口的个数均为多个。

3.根据权利要求1所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，邻近所述开槽的两侧设置的多个出气口的分布轨迹与所述开槽的侧壁的延伸形状相一致。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，所述开槽的横截面为V形、锯齿形、弧形、波浪形中的任一种。

5.根据权利要求4所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，所述开槽的横截面为V形，所述开槽的夹角为钝角。

6.根据权利要求4所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，所述开槽的横截面为锯齿形，所述开槽至少形成三个锯齿，每个锯齿的夹角为锐角。

7.根据权利要求4所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，所述开槽的横截面为中部凸起的弧形，所述开槽由凸起侧壁和凹陷侧壁共同限定出，在所述气动平台的长度方向上，所述凸起侧壁相对于所述凹陷侧壁更靠近所述检测件。

8.根据权利要求7所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，所述开槽的曲率半径为100mm-200mm。

9.根据权利要求4所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，所述开槽的横截面为波浪形，所述开槽包括彼此交叉设置的波峰段和波谷段，所述波峰段和所述波谷段呈中心对称分布。

10.根据权利要求1所述的用于柔性基板的光学自动检测装置，其特征在于，所述开槽贯通所述气动平台的两个侧壁，所述开槽的槽宽为20mm-25mm，所述开槽沿所述气动平台的宽度方向的投影的长度为100mm-200mm。