[实用新型]用于柔性基板的光学自动检测装置

说明书

本实用新型公开了一种用于柔性基板的光学自动检测装置，该光学自动检测装置包括：气动平台、夹持机构和多个检测件，气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个出气口的上方；夹持机构适于夹持柔性基板并沿气动平台的长度方向可移动；多个检测件分别位于气动平台的上方和下方，上方的检测件用于直接对柔性基板的上表面检测，下方的检测件用于透过开槽对柔性基板的下表面检测；其中，开槽为非线形，且在气动平台的宽度方向上至少一个出气口与开槽相对。由此，既实现双面检查提高产能，避免翻转柔性基板，同时又可以保证柔性基板边缘通过开槽时不会因为开槽处没有气浮力而卷曲。

技术领域

本实用新型涉及柔性基板测试技术领域，具体而言，涉及一种用于柔性基板的光学自动检测装置。

背景技术

相关技术中，柔性基板的光学自动检查(AOI)主要用于检测柔性基板的表面的光学性能，通常将柔性基板设置在气动平台上，气动平台具有一字型开槽，以满足柔性基板的膜材的双面能够同时检查的需求，避免柔性基板被来回翻转。

但是，上述检测装置存在以下问题：检测过程中，柔性基板移动并通过开槽时，由于开槽处没有气浮力，导致柔性基板的边缘经过开槽时，容易出现边缘下弯等问题。尤其是对于层叠(Lamination)工艺后本身柔性基板的膜材就有向下卷曲的产品边缘弯曲地更明显。进而，更容易发生由于弯曲程度过大，导致柔性基板与检测基台产生接触的现象发生，打乱正常的检测节奏，影响检测效率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种用于柔性基板的光学自动检测装置。该光学自动检测装置既实现双面检查提高产能，避免翻转柔性基板，同时又可以避免柔性基板边缘通过开槽时不会因为开槽处没有气浮力而卷曲。

根据本实用新型实施例的用于柔性基板的光学自动检测装置包括：气动平台、夹持机构和多个检测件，所述气动平台具有多个出气口以及沿宽度方向设置的开槽，所述气动平台被构造成能够驱动柔性基板悬浮在多个所述出气口的上方；所述夹持机构适于夹持所述柔性基板并沿所述气动平台的长度方向可移动；所述多个检测件分别位于所述气动平台的上方和下方，上方的所述检测件用于直接对所述柔性基板的上表面检测，下方的所述检测件用于透过所述开槽对所述柔性基板的下表面检测；其中，所述开槽为非线形，且在所述气动平台的宽度方向上至少一个出气口与所述开槽相对。

根据本实用新型实施例的用于柔性基板的光学自动检测装置，通过将气动平台的开槽设置成非线性，并使在气动平台的宽度方向上至少一个出气口与开槽相对，以使柔性基板的边缘(如前边缘、后边缘)经过开槽时，边缘的绝大部分仍然能够受到气浮力；同时柔性基板上与开槽相对的不受气浮力支撑的部分，能够借助于柔性基板自身的张力，而不发生较大的弯折和卷曲，有利于保持柔性基板的平整度。由此，既实现双面检查提高产能，避免翻转柔性基板，同时又可以保证柔性基板边缘通过开槽时不会因为开槽处没有气浮力而卷曲，减少了影响检出效果或卷曲部位刮到开槽的槽口的现象发生，提高了检测后的产品良率。

在一些实施例中，位于所述开槽的两侧中的每一侧的、与所述开槽在宽度方向上相对的出气口的个数均为多个。

在一些实施例中，邻近所述开槽的两侧设置的多个出气口的分布轨迹与所述开槽的侧壁的延伸形状相一致。

在一些实施例中，所述开槽的横截面为V形、锯齿形、弧形、波浪形中的任一种。

可选地，所述开槽的横截面为V形，所述开槽的夹角为钝角。

可选地，所述开槽的横截面为锯齿形，所述开槽至少形成三个锯齿，每个锯齿的夹角为锐角。

可选地，所述开槽的横截面为中部凸起的弧形，所述开槽由凸起侧壁和凹陷侧壁共同限定出，在所述气动平台的长度方向上，所述凸起侧壁相对于所述凹陷侧壁更靠近所述检测件。