[实用新型]一种酸洗水洗一体装置

摘要

本实用新型公开了一种酸洗水洗一体装置，涉及半导体技术领域，该装置包括：清洗槽、缓冲槽、隔膜泵、控制器、进水管道、排水管道、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及分别设置在各个管道上的气动阀门；进水管道的一端连清洗槽，另一端连进水口；排水管道的一端连清洗槽，另一端连排水口；第一管道的一端连清洗槽，另一端连隔膜泵；第二管道的一端连清洗槽，另一端连在第四管道气动阀门下方；第三管道的一端连缓冲槽，另一端连在第一管道气动阀门下方；第四管道的一端连缓冲槽，另一端连隔膜泵；控制器分别控制隔膜泵和各个气动阀门的开关。解决了清洗效率低、浪费人工的问题，达到了提高安全性、提高清洗效率、节省人工的效果。

主权项

1.一种酸洗水洗一体装置，其特征在于，所述装置包括：清洗槽、缓冲槽、隔膜泵、控制器、进水管道、排水管道、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及分别设置在各个管道上的气动阀门；所述清洗槽用于放置待清洗的石英件，所述缓冲槽用于存储清洗溶液；所述进水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与进水口相连；所述排水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与排水口相连；所述第一管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；所述第二管道的一端与所述清洗槽相连，另一端连接在所述第四管道的气动阀门的下方；所述第三管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端连接在所述第一管道的气动阀门的下方；所述第四管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；所述控制器分别与所述隔膜泵和各个所述气动阀门相连，控制所述隔膜泵和各个所述气动阀门的开关。