[实用新型]一种酸洗水洗一体装置有效
| 申请号： | 201820384680.5 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN208466691U | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 陆绍良 | 申请（专利权）人： | 力特半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗槽 气动阀门 隔膜泵 第一管道 缓冲槽 第二管道 进水管道 排水管道 清洗效率 一体装置 控制器 人工的 酸洗 半导体技术领域 本实用新型 进水口 排水口 | ||
1.一种酸洗水洗一体装置，其特征在于，所述装置包括：清洗槽、缓冲槽、隔膜泵、控制器、进水管道、排水管道、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及分别设置在各个管道上的气动阀门；所述清洗槽用于放置待清洗的石英件，所述缓冲槽用于存储清洗溶液；
所述进水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与进水口相连；
所述排水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与排水口相连；
所述第一管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；
所述第二管道的一端与所述清洗槽相连，另一端连接在所述第四管道的气动阀门的下方；
所述第三管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端连接在所述第一管道的气动阀门的下方；
所述第四管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；
所述控制器分别与所述隔膜泵和各个所述气动阀门相连，控制所述隔膜泵和各个所述气动阀门的开关。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括启动按钮，所述启动按钮按下时，所述控制器自动运行清洗程序。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述控制器是可编程逻辑控制器PLC。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述缓冲槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第二管道和所述第三管道上的气动阀门打开时输送至所述清洗槽；所述缓冲槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第二管道和所述第三管道上的气动阀门关闭时停止输送；
所述清洗槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第一管道和所述第四管道上的气动阀门打开时输送至所述缓冲槽；所述清洗槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第一管道和所述第四管道上的气动阀门关闭时停止输送；
所述进水口在所述进水管道上的气动阀门打开时输送清水至所述清洗槽；
所述清洗槽中清洗后的废水在排水管道上的气动阀门打开时排放至所述排水口。
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