[实用新型]一种酸洗水洗一体装置

说明书

本实用新型公开了一种酸洗水洗一体装置，涉及半导体技术领域，该装置包括：清洗槽、缓冲槽、隔膜泵、控制器、进水管道、排水管道、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及分别设置在各个管道上的气动阀门；进水管道的一端连清洗槽，另一端连进水口；排水管道的一端连清洗槽，另一端连排水口；第一管道的一端连清洗槽，另一端连隔膜泵；第二管道的一端连清洗槽，另一端连在第四管道气动阀门下方；第三管道的一端连缓冲槽，另一端连在第一管道气动阀门下方；第四管道的一端连缓冲槽，另一端连隔膜泵；控制器分别控制隔膜泵和各个气动阀门的开关。解决了清洗效率低、浪费人工的问题，达到了提高安全性、提高清洗效率、节省人工的效果。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其是一种酸洗水洗一体装置。

背景技术

在硅片生产流程中，为避免污染，需要对使用过的石英件和其他辅助石英件进行清洗，用于清洗的化学液是100％的氢氟酸。

传统的清洗设备由一个酸槽和一个水槽组成，清洗时将需要清洗的石英件放到提篮中，然后将提篮放到酸槽中，等酸洗时间到了，需要把提篮从酸槽拿出迅速放到水槽中，水槽冲洗完成后取出，放到烘箱中烘干。

由于提篮放入酸槽和从酸槽中取出时酸气会大量溢出污染环境，操作人员一旦吸入还会对身体造成伤害，并且提篮的放入和转移都需要耗费操作人员大量体力，清洗效率低，另外在酸洗时需要操作人员等待酸洗时间，浪费人工。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题及技术需求，提出了一种酸洗水洗一体装置。

本实用新型的技术方案如下：

一种酸洗水洗一体装置，所述装置包括：清洗槽、缓冲槽、隔膜泵、控制器、进水管道、排水管道、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道以及分别设置在各个管道上的气动阀门；所述清洗槽用于放置待清洗的石英件，所述缓冲槽用于存储清洗溶液；

所述进水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与进水口相连；

所述排水管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与排水口相连；

所述第一管道的一端与所述清洗槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；

所述第二管道的一端与所述清洗槽相连，另一端连接在所述第四管道的气动阀门的下方；

所述第三管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端连接在所述第一管道的气动阀门的下方；

所述第四管道的一端与所述缓冲槽相连，另一端与所述隔膜泵相连；

所述控制器分别与所述隔膜泵和各个所述气动阀门相连，控制所述隔膜泵和各个所述气动阀门的开关。

其进一步的技术方案为：所述装置还包括启动按钮，所述启动按钮按下时，所述控制器自动运行清洗程序。

其进一步的技术方案为：所述控制器是可编程逻辑控制器PLC。

其进一步的技术方案为：所述缓冲槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第二管道和所述第三管道上的气动阀门打开时输送至所述清洗槽；所述缓冲槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第二管道和所述第三管道上的气动阀门关闭时停止输送；

所述清洗槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第一管道和所述第四管道上的气动阀门打开时输送至所述缓冲槽；所述清洗槽中的清洗溶液在所述隔膜泵、所述第一管道和所述第四管道上的气动阀门关闭时停止输送；

所述进水口在所述进水管道上的气动阀门打开时输送清水至所述清洗槽；

所述清洗槽中清洗后的废水在排水管道上的气动阀门打开时排放至所述排水口。

本实用新型的有益技术效果是：