[实用新型]一种用于激光直接成像设备的内层对准装置有效
申请号: | 201820371876.0 | 申请日: | 2018-03-19 |
公开(公告)号: | CN207993371U | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 项宗齐 | 申请(专利权)人: | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
主分类号: | G09F9/00 | 分类号: | G09F9/00 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 王丽丽;奚华保 |
地址: | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于激光直接成像设备的内层对准装置,包括安装座,所述安装座的内部中空,在安装座的内部设有光源座,所述光源座的上侧设有光源,位于光源上方的安装座内设有透镜,所述安装座的顶部设有与所述透镜相对应的开孔,所述开孔的外侧设有透光玻璃片,所述透光玻璃片的中部设有透光圆孔,其透光圆孔外侧为光刻机曝光的区域。本实用新型所述的用于激光直接成像设备的内层对准装置,大大提高了PCB内层板生产的良率,其结构简单,通过模块化设计及安装,极大提高了安装及维护的便利性。 | ||
搜索关键词: | 安装座 激光直接成像 对准装置 内层 透镜 本实用新型 透光玻璃片 透光圆孔 光源座 开孔 光源 模块化设计 内部中空 便利性 光刻机 内层板 良率 曝光 维护 生产 | ||
【主权项】:
1.一种用于激光直接成像设备的内层对准装置,其特征在于:包括安装座(1),所述安装座(1)的内部中空,在安装座(1)的内部设有光源座(2),所述光源座(2)的上侧设有光源(3),位于光源(3)上方的安装座(1)内设有透镜(4),所述安装座(1)的顶部设有与所述透镜(4)相对应的开孔(11),所述开孔(11)的外侧设有透光玻璃片(5),所述透光玻璃片(5)的中部设有透光圆孔(51),其透光圆孔(51)外侧为光刻机曝光的区域。
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