[实用新型]一种用于激光直接成像设备的内层对准装置有效

专利信息
申请号: 201820371876.0 申请日: 2018-03-19
公开(公告)号: CN207993371U 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 项宗齐 申请(专利权)人: 合肥芯碁微电子装备有限公司
主分类号: G09F9/00 分类号: G09F9/00
代理公司: 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 代理人: 王丽丽;奚华保
地址: 230088 安徽省合肥市高新区*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 安装座 激光直接成像 对准装置 内层 透镜 本实用新型 透光玻璃片 透光圆孔 光源座 开孔 光源 模块化设计 内部中空 便利性 光刻机 内层板 良率 曝光 维护 生产
【说明书】:

实用新型涉及一种用于激光直接成像设备的内层对准装置,包括安装座,所述安装座的内部中空,在安装座的内部设有光源座,所述光源座的上侧设有光源,位于光源上方的安装座内设有透镜,所述安装座的顶部设有与所述透镜相对应的开孔,所述开孔的外侧设有透光玻璃片,所述透光玻璃片的中部设有透光圆孔,其透光圆孔外侧为光刻机曝光的区域。本实用新型所述的用于激光直接成像设备的内层对准装置,大大提高了PCB内层板生产的良率,其结构简单,通过模块化设计及安装,极大提高了安装及维护的便利性。

技术领域

本实用新型涉及激光直接成像设备领域,具体涉及一种用于激光直接成像设备的内层对准装置。

背景技术

激光直接成像设备是PCB制造的核心装备,在PCB板的生产中,有内层板的生产。在内层板的生产中,需要将PCB的正面与背面的图像进行对准。而对准精度是激光直接成像设备的关键指标之一。内层对准精度的影响因素很多,如平台的定位精度,对准相机的处理精度,对准算法处理的精度,以及对准装置在背面曝光MARK的精度。目前所采用的内层对准装置中,通光孔是采用机械加工的方法,这样的加工圆孔,保证圆周度是个很困难的事情,提取的中心坐标的偏差就会很大,降低了内层对准精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于激光直接成像设备的内层对准装置,提高了对准精度与稳定性,改善了设备的性能,提高了加工内层板的对准精度,提高了产品生产的良率。

为实现上述目的,本实用新型采用了以下技术方案:

一种用于激光直接成像设备的内层对准装置,包括安装座,所述安装座的内部中空,在安装座的内部设有光源座,所述光源座的上侧设有光源,位于光源上方的安装座内设有透镜,所述安装座的顶部设有与所述透镜相对应的开孔,所述开孔的外侧设有透光玻璃片,所述透光玻璃片的中部设有透光圆孔,其透光圆孔外侧为光刻机曝光的区域。

作为上述技术方案的进一步改进:

所述透镜通过压圈固定于所述安装座的内部。

所述光源座通过螺钉与安装座固定连接,所述光源通过焊接固定于光源座上。

所述光源为紫外光。

由上述技术方案可知,本实用新型所述的用于激光直接成像设备的内层对准装置,大大提高了PCB内层板生产的良率,其结构简单,通过模块化设计及安装,极大提高了安装及维护的便利性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图;

图2是本实用新型的俯视图;

图3是本实用新型应用在吸盘上的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明:

如图1所示,本实施例的用于激光直接成像设备的内层对准装置,包括安装座1,安装座1的内部中空,在安装座1的内部设有光源座2,光源座2的上侧设有光源3,位于光源3上方的安装座1内设有透镜4,安装座1的顶部设有与透镜4相对应的开孔11,开孔11的外侧设有透光玻璃片5,该玻璃片5通过在安装座1上开设的凹槽固定于安装座上,在透光玻璃片5的中部设有透光圆孔51,其透光圆孔51外侧为光刻机曝光的区域,如图2所示。

本实施例的,透镜4通过压圈6固定于安装座1的内部,光源座2通过螺钉与安装座1固定连接,光源3通过焊接固定于光源座2上;光源3为紫外光。

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