[实用新型]一种用于激光直接成像设备的内层对准装置有效
| 申请号： | 201820371876.0 | 申请日： | 2018-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN207993371U | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 项宗齐 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G09F9/00 | 分类号： | G09F9/00 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 王丽丽;奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 安装座 激光直接成像 对准装置 内层 透镜 本实用新型 透光玻璃片 透光圆孔 光源座 开孔 光源 模块化设计 内部中空 便利性 光刻机 内层板 良率 曝光 维护 生产 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于激光直接成像设备的内层对准装置，其特征在于：包括安装座（1），所述安装座（1）的内部中空，在安装座（1）的内部设有光源座（2），所述光源座（2）的上侧设有光源（3），位于光源（3）上方的安装座（1）内设有透镜（4），所述安装座（1）的顶部设有与所述透镜（4）相对应的开孔（11），所述开孔（11）的外侧设有透光玻璃片（5），所述透光玻璃片（5）的中部设有透光圆孔（51），其透光圆孔（51）外侧为光刻机曝光的区域。
2.根据权利要求1所述的用于激光直接成像设备的内层对准装置，其特征在于：所述透镜（4）通过压圈（6）固定于所述安装座（1）的内部。
3.根据权利要求1所述的用于激光直接成像设备的内层对准装置，其特征在于：所述光源座（2）通过螺钉与安装座（1）固定连接，所述光源（3）通过焊接固定于光源座（2）上。
4.根据权利要求1所述的用于激光直接成像设备的内层对准装置，其特征在于：所述光源（3）为紫外光。
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