[实用新型]一种溅射薄膜压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种溅射薄膜压力传感器，包括传感器主体与底座，所述传感器主体的两侧外表面均固定安装有橡胶凸起，所述传感器主体的一端外侧靠近橡胶凸起的位置固定安装有集线筒，所述底座位于传感器主体的下端外侧。本实用新型所述的一种溅射薄膜压力传感器，设有橡胶凸起、不锈钢膜片结构和溅射合金薄膜压力敏感元件，橡胶制品耐磨、减震，起到保护传感器外部的作用，防止发生摩擦与碰撞，并采用合金薄膜材料制成，接触时的敏感程度高，同时内部电阻能承受两千次以上的疲劳处理，其表面的溅射合金薄膜耐温性能优异，能够在各种恶劣势环境下长时间的稳定工作，适用不同工作状况，带来更好的使用前景。

主权项

1.一种溅射薄膜压力传感器，包括传感器主体(1)与底座(4)，其特征在于：所述传感器主体(1)的两侧外表面均固定安装有橡胶凸起(2)，所述传感器主体(1)的一端外侧靠近橡胶凸起(2)的位置固定安装有集线筒(3)，所述底座(4)位于传感器主体(1)的下端外侧，所述传感器主体(1)的上端外表面设有不锈钢膜片结构(5)，所述不锈钢膜片结构(5)的上端外表面固定安装有管螺纹(6)，所述不锈钢膜片结构(5)的内部设有应变膜片(7)与弹性体(8)，且应变膜片(7)固定安装在弹性体(8)的上端外侧，所述弹性体(8)的内部固定安装有弹性元件(9)，所述弹性体(8)的下端内表面靠近弹性元件(9)的下方设有应变电阻层(10)，所述传感器主体(1)的内部中间位置固定安装有溅射合金薄膜压力敏感元件(11)，所述溅射合金薄膜压力敏感元件(11)的上端外表面靠近不锈钢膜片结构(5)的下方设有溅射合金薄膜(12)，所述溅射合金薄膜压力敏感元件(11)的下端外表面设有压力接口(13)，所述压力接口(13)的内部穿过压力接口(13)的下端外侧设有金丝引线(14)，所述金丝引线(14)的下端外侧固定安装有放大电路板(15)，且放大电路板(15)的一端外侧设有引线转接板(16)，所述引线转接板(16)与集线筒(3)之间活动安装有信号引出线(17)，所述传感器主体(1)的内表面一周固定安装有密封圈(18)。