[实用新型]一种溅射薄膜压力传感器

权利要求书

1.一种溅射薄膜压力传感器，包括传感器主体(1)与底座(4)，其特征在于：所述传感器主体(1)的两侧外表面均固定安装有橡胶凸起(2)，所述传感器主体(1)的一端外侧靠近橡胶凸起(2)的位置固定安装有集线筒(3)，所述底座(4)位于传感器主体(1)的下端外侧，所述传感器主体(1)的上端外表面设有不锈钢膜片结构(5)，所述不锈钢膜片结构(5)的上端外表面固定安装有管螺纹(6)，所述不锈钢膜片结构(5)的内部设有应变膜片(7)与弹性体(8)，且应变膜片(7)固定安装在弹性体(8)的上端外侧，所述弹性体(8)的内部固定安装有弹性元件(9)，所述弹性体(8)的下端内表面靠近弹性元件(9)的下方设有应变电阻层(10)，所述传感器主体(1)的内部中间位置固定安装有溅射合金薄膜压力敏感元件(11)，所述溅射合金薄膜压力敏感元件(11)的上端外表面靠近不锈钢膜片结构(5)的下方设有溅射合金薄膜(12)，所述溅射合金薄膜压力敏感元件(11)的下端外表面设有压力接口(13)，所述压力接口(13)的内部穿过压力接口(13)的下端外侧设有金丝引线(14)，所述金丝引线(14)的下端外侧固定安装有放大电路板(15)，且放大电路板(15)的一端外侧设有引线转接板(16)，所述引线转接板(16)与集线筒(3)之间活动安装有信号引出线(17)，所述传感器主体(1)的内表面一周固定安装有密封圈(18)。

2.根据权利要求1所述的一种溅射薄膜压力传感器，其特征在于：所述传感器主体(1)与底座(4)的外表面均涂有防水层，所述传感器主体(1)与底座(4)之间设置有胶体粘连层。

3.根据权利要求1所述的一种溅射薄膜压力传感器，其特征在于：所述集线筒(3)的内径为十二毫米，所述弹性元件(9)的数量为十组。

4.根据权利要求1所述的一种溅射薄膜压力传感器，其特征在于：所述溅射合金薄膜压力敏感元件(11)通过金丝引线(14)与放大电路板(15)电性连接，所述橡胶凸起(2)的数量为若干组。

5.根据权利要求1所述的一种溅射薄膜压力传感器，其特征在于：所述溅射合金薄膜压力敏感元件(11)的耐温范围为-10度至120度，所述集线筒(3)的内部设置有接线插针。

6.根据权利要求1所述的一种溅射薄膜压力传感器，其特征在于：所述应变电阻层(10)的内部设置有内补偿电阻，所述放大电路板(15)的外表面设置有信号处理单元。