[实用新型]一种溅射薄膜压力传感器

说明书

本实用新型公开了一种溅射薄膜压力传感器，包括传感器主体与底座，所述传感器主体的两侧外表面均固定安装有橡胶凸起，所述传感器主体的一端外侧靠近橡胶凸起的位置固定安装有集线筒，所述底座位于传感器主体的下端外侧。本实用新型所述的一种溅射薄膜压力传感器，设有橡胶凸起、不锈钢膜片结构和溅射合金薄膜压力敏感元件，橡胶制品耐磨、减震，起到保护传感器外部的作用，防止发生摩擦与碰撞，并采用合金薄膜材料制成，接触时的敏感程度高，同时内部电阻能承受两千次以上的疲劳处理，其表面的溅射合金薄膜耐温性能优异，能够在各种恶劣势环境下长时间的稳定工作，适用不同工作状况，带来更好的使用前景。

技术领域

本实用新型涉及压力传感器领域，特别涉及一种溅射薄膜压力传感器。

背景技术

压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置，按不同的测试压力类型，压力传感器可分为表压传感器、差压传感器和绝压传感器；现有的压力传感器在使用时存在一定的弊端，使用时测试精度受温度限制很大，压力敏感元件容易因为温度的变化而性能发生改变，不能在各种恶劣势环境下稳定工作，同时外侧的焊接手法以及抗震性能有待增强，在使用过程中带来了一定的不利影响，为此，我们提出一种溅射薄膜压力传感器。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种溅射薄膜压力传感器，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种溅射薄膜压力传感器，包括传感器主体与底座，所述传感器主体的两侧外表面均固定安装有橡胶凸起，所述传感器主体的一端外侧靠近橡胶凸起的位置固定安装有集线筒，所述底座位于传感器主体的下端外侧，所述传感器主体的上端外表面设有不锈钢膜片结构，所述不锈钢膜片结构的上端外表面固定安装有管螺纹，所述不锈钢膜片结构的内部设有应变膜片与弹性体，且应变膜片固定安装在弹性体的上端外侧，所述弹性体的内部固定安装有弹性元件，所述弹性体的下端内表面靠近弹性元件的下方设有应变电阻层，所述传感器主体的内部中间位置固定安装有溅射合金薄膜压力敏感元件，所述溅射合金薄膜压力敏感元件的上端外表面靠近不锈钢膜片结构的下方设有溅射合金薄膜，所述溅射合金薄膜压力敏感元件的下端外表面设有压力接口，所述压力接口的内部穿过压力接口的下端外侧设有金丝引线，所述金丝引线的下端外侧固定安装有放大电路板，且放大电路板的一端外侧设有引线转接板，所述引线转接板与集线筒之间活动安装有信号引出线，所述传感器主体的内表面一周固定安装有密封圈。

优选的，所述传感器主体与底座的外表面均涂有防水层，所述传感器主体与底座之间设置有胶体粘连层。

优选的，所述集线筒的内径为十二毫米，所述弹性元件的数量为十组。

优选的，所述溅射合金薄膜压力敏感元件通过金丝引线与放大电路板电性连接，所述橡胶凸起的数量为若干组。

优选的，所述溅射合金薄膜压力敏感元件的耐温范围为-10度至120度，所述集线筒的内部设置有接线插针。

优选的，所述应变电阻层的内部设置有内补偿电阻，所述放大电路板的外表面设置有信号处理单元。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：该溅射薄膜压力传感器，通过设置橡胶凸起，橡胶制品耐磨、减震，起到保护传感器外部的作用，防止发生摩擦与碰撞，通过设置不锈钢膜片结构，采用合金薄膜材料制成，接触时的敏感程度高，同时内部电阻能承受两千次以上的疲劳处理，通过设置溅射合金薄膜压力敏感元件，其表面的溅射合金薄膜耐温性能优异，能够在各种恶劣势环境下长时间的稳定工作，整个装置简单，操作方便，使用的效果相对于传统方式更好。

附图说明

图1为本实用新型一种溅射薄膜压力传感器的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种溅射薄膜压力传感器的局部视图。