[实用新型]一种退火系统有效
申请号: | 201820328632.4 | 申请日: | 2018-03-09 |
公开(公告)号: | CN207904321U | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 王鹏;李磊 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C21D9/00 | 分类号: | C21D9/00;C21D1/26;C21D1/74 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开一种退火系统,包括:退火炉,具有高温腔体;加热装置,具有第一进气口、第一出气口以及连接所述第一进气口和第一出气口的加热器,所述第一出气口连通所述高温腔体,所述加热器用于将从所述第一进气口输入的目标气体加热后从所述第一出气口输出。本实用新型提供的退火系统,包括退火炉和加热装置,该加热装置将目标气体加热到预设温度后输送至退火炉的高温腔体内,使退火炉的高温腔体内各区域的气体温度均匀,达到良好的退火效果。 | ||
搜索关键词: | 出气口 退火炉 进气口 加热装置 退火系统 加热器 本实用新型 高温腔体 目标气体 高温腔 加热 体内 退火 温度均匀 预设 连通 输出 | ||
【主权项】:
1.一种退火系统,其特征在于,包括:退火炉,具有高温腔体;加热装置,具有第一进气口、第一出气口以及连接所述第一进气口和第一出气口的加热器,所述第一出气口连通所述高温腔体,所述加热器用于将从所述第一进气口输入的目标气体加热后从所述第一出气口输出。
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