[实用新型]一种退火系统

权利要求书

1.一种退火系统，其特征在于，包括：

退火炉，具有高温腔体；

加热装置，具有第一进气口、第一出气口以及连接所述第一进气口和第一出气口的加热器，所述第一出气口连通所述高温腔体，所述加热器用于将从所述第一进气口输入的目标气体加热后从所述第一出气口输出。

2.根据权利要求1所述的退火系统，其特征在于，所述加热器包括：连通所述第一进气口和第一出气口的第一气体管以及缠绕在所述第一气体管外表面的电热丝。

3.根据权利要求2所述的退火系统，其特征在于，所述加热器还包括电性连接所述电热丝的控制器以及与所述控制器电性连接的温度传感器；所述控制器内存储有预设值，所述控制器用于接收所述温度传感器的反馈值并与预设值比对，以根据比对结果调整所述电热丝的发热量。

4.根据权利要求3所述的退火系统，其特征在于，所述加热装置包括隔热壳体，所述隔热壳体内具有隔热腔体；部分所述第一气体管置于所述隔热腔体内且所述第一气体管贯穿所述隔热壳体。

5.根据权利要求4所述的退火系统，其特征在于，所述隔热腔体包括相互隔离的第一腔体和第二腔体；所述第二腔体位于所述第一出气口和第一腔体之间，所述电热丝设置于所述第一腔体内，所述温度传感器设置于所述第二腔体内。

6.根据权利要求4所述的退火系统，其特征在于，所述第一气体管为石英玻璃管；所述隔热腔体为真空腔，所述隔热壳体由保温隔热陶瓷材料制成。

7.根据权利要求1-6任一项所述的退火系统，其特征在于，所述退火系统还包括恒温装置，所述恒温装置包括第二进气口、第二出气口以及连接所述第二进气口和所述第二出气口的恒温器，所述第二出气口连通所述第一进气口，所述恒温器用于将位于所述第二进气口和所述第二出气口之间的气体保持恒温。

8.根据权利要求7所述的退火系统，其特征在于，所述恒温器包括冷却箱、连通所述第二进气口和所述第二出气口的第二气体管以及与所述冷却箱连通的冷却液入口与冷却液出口；部分所述第二气体管置于所述冷却箱内且所述第二气体管贯穿所述冷却箱。

9.根据权利要求1所述的退火系统，其特征在于，所述高温腔体内收容有晶体基板。