[实用新型]一种退火系统

说明书

本实用新型公开一种退火系统，包括：退火炉，具有高温腔体；加热装置，具有第一进气口、第一出气口以及连接所述第一进气口和第一出气口的加热器，所述第一出气口连通所述高温腔体，所述加热器用于将从所述第一进气口输入的目标气体加热后从所述第一出气口输出。本实用新型提供的退火系统，包括退火炉和加热装置，该加热装置将目标气体加热到预设温度后输送至退火炉的高温腔体内，使退火炉的高温腔体内各区域的气体温度均匀，达到良好的退火效果。

技术领域

本实用新型涉及退火技术领域，尤其涉及一种退火系统。

背景技术

退火是将放置在退火炉内的金属缓慢加热到一定温度，保持一定的时间，然后以适宜速度冷却的一种金属热处理工艺。其主要目的在于改善工件的各种缺陷，消除残余应力，防止工件变形、开裂。退火技术广泛应用于各技术领域，例如在柔性显示屏的制作工艺中，会对包括LTPS(Low Temperature Poly-silicon，低温多晶硅)基板的工件进行退火处理。

部分工件在高温下，会在退火炉内的氧气作用下氧化，导致金属件的表层发生化学反应。因此，在退火系统中，需要不断地向退火炉内冲入如氮气等目标气体，以控制退火炉内的含氧量。

然而，通入退火炉内的氮气为常温气体，而退火炉内的工艺温度通常高达400摄氏度。大量的常温氮气进入高温的退火炉内时，造成炉内各区域温度不均匀，导致炉内工件受热不均，进而影响退火效果。

实用新型内容

为了实现炉内各区域温度均匀的目的，本实用新型提供一种退火系统，包括：

退火炉，具有高温腔体；

加热装置，具有第一进气口、第一出气口以及连接所述第一进气口和第一出气口的加热器，所述第一出气口连通所述高温腔体，所述加热器用于将从所述第一进气口输入的目标气体加热后从所述第一出气口输出。

上述的退火系统，所述加热器包括：连通所述第一进气口和第一出气口的第一气体管以及缠绕在所述第一气体管外表面的电热丝。

进一步，上述的退火系统，所述加热器还包括电性连接所述电热丝的控制器以及与所述控制器电性连接的温度传感器；所述控制器内存储有预设值，所述控制器用于接收所述温度传感器的反馈值并与预设值比对，以根据比对结果调整所述电热丝的发热量。

进一步，上述的退火系统，所述加热装置包括隔热壳体，所述隔热壳体内具有隔热腔体；部分所述第一气体管置于所述隔热腔体内且所述第一气体管贯穿所述隔热壳体。

进一步，上述的退火系统，所述隔热腔体包括相互隔离的第一腔体和第二腔体；所述第二腔体位于所述第一出气口和第一腔体之间，所述电热丝设置于所述第一腔体内，所述温度传感器设置于所述第二腔体内。

进一步，上述的退火系统，所述第一气体管为石英玻璃管；所述隔热腔体为真空腔，所述隔热壳体由保温隔热陶瓷材料制成。

进一步，上述的退火系统，所述退火系统还包括恒温装置，所述恒温装置包括第二进气口、第二出气口以及连接所述第二进气口和所述第二出气口的恒温器，所述第二出气口连通所述第一进气口，所述恒温器用于将位于所述第二进气口和所述第二出气口之间的气体保持恒温。

进一步，上述的退火系统，所述恒温器包括冷却箱、连通所述第二进气口和所述第二出气口的第二气体管以及与所述冷却箱连通的冷却液入口与冷却液出口；部分所述第二气体管置于所述冷却箱内且所述第二气体管贯穿所述冷却箱。

进一步，上述的退火系统，所述高温腔体内收容有晶体基板。

与现有技术相比，本实用新型提供的退火系统，包括退火炉和加热装置，该加热装置将目标气体加热到预设温度后输送至退火炉的高温腔体内，使退火炉的高温腔体内的各区域的温度均匀，达到良好的退火效果。

附图说明