[实用新型]一种磁控溅射磁场结构有效
| 申请号： | 201820321945.7 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN207973797U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 宋卫华;李宝太;王永学 | 申请（专利权）人： | 台晶（宁波）电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315800 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射磁场结构，包括基座、第一磁条和第二磁条，基座上端的左右两侧对称安装有第一磁条，前后两侧对称安装有第二磁条，第一磁条和第二磁条围成矩形区域，矩形区域内位于两个第二磁条之间从前往后依次平行布置有第三磁条、第四磁条、第五磁条、第四磁条和第三磁条，第五磁条位于两个第二磁条之间中央位置，第一磁条、第二磁条和第四磁条均是上端为N极、下端为S极，第三磁条和第五磁条均是上端为S极、下端为N极，第三磁条、第四磁条和第五磁条均位于两个第一磁条之间中央位置。本实用通过对磁石的重新分布，使磁力线在靶材表面的分布更加广泛，也就扩大了靶材表面的放电区域，从而提升了靶材的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 磁条 上端 靶材表面 磁场结构 磁控溅射 对称安装 矩形区域 下端 磁力线 本实用新型 放电区域 平行布置 重新分布 左右两侧 靶材 磁石 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射磁场结构，包括基座(1)、第一磁条(5)和第二磁条(3)，其特征在于：所述的基座(1)上端的左右两侧对称安装有第一磁条(5)，前后两侧对称安装有第二磁条(3)，所述的第一磁条(5)和第二磁条(3)围成矩形区域，该矩形区域内位于两个第二磁条(3)之间从前往后依次平行布置有第三磁条(4)、第四磁条(2)、第五磁条(6)、第四磁条(2)和第三磁条(4)，所述的第五磁条(6)位于两个第二磁条(3)之间中央位置，所述的第一磁条(5)、第二磁条(3)和第四磁条(2)均是上端为N极、下端为S极，所述的第三磁条(4)和第五磁条(6)均是上端为S极、下端为N极，所述的第三磁条(4)、第四磁条(2)和第五磁条(6)均位于两个第一磁条(5)之间中央位置。
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