[实用新型]一种磁控溅射磁场结构有效
| 申请号： | 201820321945.7 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN207973797U | 公开（公告）日： | 2018-10-16 |
| 发明（设计）人： | 宋卫华;李宝太;王永学 | 申请（专利权）人： | 台晶（宁波）电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315800 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁条 上端 靶材表面 磁场结构 磁控溅射 对称安装 矩形区域 下端 磁力线 本实用新型 放电区域 平行布置 重新分布 左右两侧 靶材 磁石 | ||
1.一种磁控溅射磁场结构，包括基座(1)、第一磁条(5)和第二磁条(3)，其特征在于：所述的基座(1)上端的左右两侧对称安装有第一磁条(5)，前后两侧对称安装有第二磁条(3)，所述的第一磁条(5)和第二磁条(3)围成矩形区域，该矩形区域内位于两个第二磁条(3)之间从前往后依次平行布置有第三磁条(4)、第四磁条(2)、第五磁条(6)、第四磁条(2)和第三磁条(4)，所述的第五磁条(6)位于两个第二磁条(3)之间中央位置，所述的第一磁条(5)、第二磁条(3)和第四磁条(2)均是上端为N极、下端为S极，所述的第三磁条(4)和第五磁条(6)均是上端为S极、下端为N极，所述的第三磁条(4)、第四磁条(2)和第五磁条(6)均位于两个第一磁条(5)之间中央位置。
2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射磁场结构，其特征在于：所述的第一磁条(5)由三块磁石拼接组成，该第一磁条(5)下端通过第一磁石固定座(7)与基座(1)相连，所述的第一磁石固定座(7)呈凸字形状，其中一个磁石位于凸起部上端，剩下两个磁石位于凸起部的两侧，中间磁石的外侧壁与两侧两个磁石的外侧壁持平，且中间磁石的厚度小于两侧两个磁石的厚度。
3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射磁场结构，其特征在于：所述的第二磁条(3)由四块磁石拼接而成，该第二磁条(3)下端通过第二磁石固定座(8)与基座(1)相连，所述的第二磁石固定座(8)呈凹字形状，其中两个磁石位于第二磁石固定座(8)上端的内凹处，另外两个磁石位于内凹处的两侧。
4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射磁场结构，其特征在于：所述的第三磁条(4)由三个相同规格的磁石拼接组成，该第三磁条(4)下端通过第三磁石固定座(9)与基座(1)相连，所述的第三磁石固定座(9)呈矩形。
5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射磁场结构，其特征在于：所述的第四磁条(2)由两个相同规格的磁石拼接而成，该第四磁条(2)下端通过第四磁石固定座(10)与基座(1)相连，所述的第四磁石固定座(10)呈矩形。
6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射磁场结构，其特征在于：所述的第五磁条(6)由两个相同规格的磁石拼接而成，该第五磁条(6)下端通过第五磁石固定座(11)与基座(1)相连，所述的第五磁石固定座(11)呈矩形。
7.根据权利要求1所述的一种磁控溅射磁场结构，其特征在于：所述的第二磁条(3)的长度大于第三磁条(4)的长度，第三磁条(4)的长度大于第四磁条(2)的长度，第四磁条(2)的长度大于第五磁条(6)。
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