[实用新型]一种易于安装的旋转硅铝靶材

摘要

本实用新型提供了一种易于安装的旋转硅铝靶材，涉及靶材技术领域，其包括背衬管、接合件和靶材体，所述背衬管上位于所述靶材体长度方向其中一端设有若干嵌设在所述靶材体内壁上的定位凸起，且所述定位凸起沿所述背衬管截面的半径方向滑移设置，所述背衬管上远离其设置所述定位凸起一端设有与所述靶材体侧壁相互抵接的环形抵接板，所述环形抵接板上设有保持所述靶材体与所述背衬管圆心一致的定位装置，所述环形抵接板可拆卸连接设置在所述背衬管上，通过嵌设在靶材体内壁上的定位凸起及环形抵接板对靶材体水平方向的位置进行固定，防止在进行安装过程中，由于接合件粘着力不足导致靶材体受到外力作用而引起掉落。

主权项

1.一种易于安装的旋转硅铝靶材，包括背衬管（1）、接合件（2）和靶材体（3），其特征在于：所述背衬管（1）上位于所述靶材体（3）长度方向其中一端设有若干嵌设在所述靶材体（3）内壁上的定位凸起（11），且所述定位凸起（11）沿所述背衬管（1）截面的半径方向滑移设置，所述背衬管（1）上远离其设置所述定位凸起（11）一端设有与所述靶材体（3）侧壁相互抵接的环形抵接板（4），所述环形抵接板（4）上设有保持所述靶材体（3）与所述背衬管（1）圆心一致的定位装置，所述环形抵接板（4）可拆卸连接设置在所述背衬管（1）上。